کوره های عمودی رسوب شیمیایی بخار (CVD / HGO برای رسوب از SiC)

انتصاب

 
کوره لوله عمودی کوره CVD رسوب شیمیایی بخار (کربوراندوم رسوب) در نظر گرفته شده برای ظهور پوشش مقاوم در برابر خوردگی بر روی سطح مواد کربن، و یا بهبود خواص آنها trihlormonosilanom روش بستر (MTS) به عنوان یک منبع گاز است.

ویژگی های فنی کوره های عمودی برای CVD

 
کنترل 1.C با استفاده از پیشرفته ترین فن آوری، ممکن است به کنترل دقیق جریان و فشار trihlormonosilana (MTS) است، شار رسوب پایدار است و فشار در یک محدوده باریک متفاوت است.
2.Imeet اتاقک ویژه با یکپارچگی بالا و محافظت از آلودگی است.
3. استفاده از کانال های گاز رسوب متعدد بدون مناطق مرده، با بارش اثر خوب است.
4. کوره لوله عمودی دارای یک تابع از بین بردن CVD گازهای خورنده دودکش، گاز قابل احتراق و مواد منفجره، گرد و غبار و مواد چسبنده جامد ذوب پایین در طول فرایند رسوب است.
5.With noveyschey با استفاده از طراحی مقاوم در برابر خوردگی از پمپ های خلاء، افزایش بقای خود و کاهش زمان تعمیر و نگهداری.

شخصی لوازم جانبی

 
1. درها به کوره و: آسانسور مارپیچی / بالابر هیدرولیک / بلند کردن کتابچه راهنمای کاربر، قفل کردن دستی / حلقه دروازه های خودکار
2. بدنه کوره تمام استیل و کربن فولاد / فولاد ضد زنگ داخلی / کامل فولاد ضد زنگ
3. دوربین کوره عمودی برای بیماری های قلبی عروقی: کربن خفیف احساس / گرافیت فلت نرم / کامپوزیت سخت احساس / که CFC
4. صدا خفه کن بخاری: / گرافیت کوچک باسن فشرده گرافیت / گرافیت اکسترود خلوص بالا، استحکام بالا و چگالی بالا
سیستم 5.Pnevmaticheskaya: متر جریان حجمی / توده فلومتر، کتابچه راهنمای / شیر خودکار، وارد / نام تجاری چینی
6. پمپ خلاء و وکیوم: وارداتی / نام تجاری چینی
7. PLC: OMRON / SIEMENS
8. کنترل درجه حرارت لوله CVD کوره عمودی است: SHIMADEN / EUROTHERM
9. ترموکوپل: C از نوع / S / نوع K / نوع N
10.Registrator: بدون کاغذ / کاغذ؛ وارد / نام تجاری چینی
11. HMI (رابط کاربری): صفحه نمایش آنالوگ / صفحه نمایش لمسی / کامپیوتر صنعتی
12. قطعات الکترونیکی: CHINT / SCHNEIDER / SIEMENS

مدل و پارامترهای کوره عمودی برای CVD

 

مدل گزینه	VCVD-0305-SIC	VCVD-0508- SIC	VCVD-0812- SIC	VCVD-1015- SIC	VCVD-1218- SIC	VCVD-1520- SIC
کار اندازه منطقه D × H (میلی متر)	Φ300 × 500	Φ500 × 800	Φ800 × 1200	Φ1000 × 1500	Φ1200 × 1800	Φ1500 × 2000
بار (کیلوگرم)	50	150	500	1000	2000	3000
حداکثر. دما (℃)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
یکنواختی درجه حرارت (℃)	± 5	± 5	± 7.5	± 7.5	± 10	± 10
قدرت و حرارت (کیلو وات)	45	90	180	300	420	540
خلاء نهایی (PA)	20	20	20	20	20	20
میزان افزایش فشار (PA / ساعت)	.67	.67	.67	.67	.67	.67
داده فوق موضوع با توجه به الزامات فن آوری از مشتریان برای تغییر، آنها استانداردهای لازم برای پذیرش، مشخصات دقیق خواهد شد در پیشنهاد فنی و یا قرارداد تایید نشده است.