Вертикальная печь химического осаждения из газовой фазы (CVD/ХГО для осаждения SiС)

Назначение

Вертикальная трубчатая печь ССЗ представляет собой печь химического осаждения из газовой фазы (осаждение карборунда), предназначенную для возникновения коррозиеустойчивых покрытий на поверхности углеродных материалов или улучшения свойства их подложки методом трихлормоносиланом (MTS) в качестве источника газа.

Технические особенности вертикальных печей для ССЗ

1.С использованием самой передовой технологии управления, можно точно контролировать поток и давление трихлормоносилана (MTS), поток осаждения является стабильным и давление колеблется в узком диапазоне.
2.Имеет особую камеру осаждения с высокой герметичностью и защитой от загрязнения.
3.Использует несколько каналов осаждения газа, без застойных зон, с хорошим эффектом осаждения.
4. Вертикальная трубчатая печь ССЗ имеет функцию удаления коррозионных отходящих газов, горючих и взрывоопасных газов, твердой пыли и липких материалов низкого плавления в процессе осаждения.
5.С использованием новейщей конструкции коррозионностойких вакуумных насосов, увеличивая их живучесть и сокращая время технического обслуживания.

Опции комплектующих

1. Двери печи: винтовой подъем /гидравлический подъем/ручной подъем;ручное запирание/автоматический кольцевой затвор
2. Корпус печи:полностью углеродистая сталь/внутренняя нержавеющая сталь/полностью нержавеющая сталь
3. Камера вертикальных печей для ССЗ:мягкий углеродный войлок/мягкий графитовый войлок/жесткий композитный войлок /CFC
4. Нагреватель, муфель:HIP-прессованный графит/прессованный графит высокой чистоты, высокой прочности и высокой плотности/ графит мелких размеров
5.Пневматическая система:объемный расходомер/масс-расходомер, ручной/автоматический клапан, импортная/китайская марка
6. Вакуумный насос и вакуумметр:импортная/китайская марка
7. PLC: OMRON/SIEMENS
8. Контроллер температуры вертикальной трубчатой печи ССЗ:SHIMADEN/EUROTHERM
9. Термопара:C тип/ S тип/ K тип/ N тип
10.Регистратор:безбумажный/ бумажный;импортная/китайская марка
11. HMI(интерфейс): аналоговый экран/сенсорный экран/промышленный компьютер
12. Электрические элементы:CHINT/SCHNEIDER/SIEMENS

Модели и параметры вертикальных печей для ССЗ

Модели / параметры	VCVD-0305-SIC	VCVD-0608- SIC	VCVD-0812- SIC	VCVD-1015- SIC	VCVD-1120- SIC	VCVD-1520- SIC
Размер рабочей зоны Д×В (мм)	Φ300 × 500	Φ600 × 800	Φ800 × 1200	Φ1000 × 1500	Φ1100 × 2000	Φ1500 × 2000
Макс. температура(℃)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Однородность температуры(℃)	±5	±5	±7.5	±7.5	±10	±10
Предельный вакуум(Па)	50	50	50	50	50	50
Скорость увеличения давления (Па/ч)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Вышесказанные данные характеристики могут изменяться согласно технологическим требованиям заказчика, они не являются стандартами для приема, подробные характеристики будут подтверждены в техническом предложении и контракте.