Горизонтальная печь химического осаждения из газовой фазы (CVD/ХГО для осаждения SiС)

Назначение

Горизонтальная печь химического осаждения из газовой фазы (осаждение карборунда) предназначена для возникновения коррозиеустойчивыех покрытий на поверхности углеродных материалов или улучшения свойства их подложки трихлормоносиланом (MTS) в качестве источника газа.

Технические особенности горизонтальной печи для ССЗ

1. С использованием самой передовой технологии управления. Можно точно контролировать поток и давление MTS. Поток осаждения является стабильным и давление колеблется в узком диапазоне.
2. Имеется особая камера осаждения с высокой герметичностью и защитой от загрязнения.
3. Используются несколько каналов осаждения газа, без застойных зон, с хорошим эффектом осаждения.
4. Горизонтальная печь химического осаждения имеет функцию удаления коррозионных отходящих газов, горючих и взрывоопасных газов, твердой пыли и липких материалов низкого плавления в процессе осаждения.
5. С использованием новейшей конструкции коррозионностойких вакуумных насосов, увеличивая их живучесть и сокращая время технического обслуживания.
6. Размер рабочей зоны печи может достигать 2,5 м × 2,5 м × 5 м, что подходит для CVD обработки больших деталей.

Конфигурация горизонтальной печи для ССЗ

1. Двери печи:дверца на петлях/рама на колёсах, ручное запирание/автоматический кольцевой затвор.
2. Корпус печи:полностью углеродистая сталь/внутренняя нержавеющая сталь/полностью нержавеющая сталь
3. Камера печи:мягкий углеродный войлок/мягкий графитовый войлок/жесткий композитный войлок /CFC
4. Нагреватель, муфель:HIP-прессованный графит/прессованный графит высокой чистоты, высокой прочности и высокой плотности/ графит мелких размеров
5.Пневматическая система: объемный расходомер/масс-расходомер, ручной/автоматический клапан, импортная/китайская марка
6. Вакуумный насос и вакуумметр:импортная/китайская марка
7. PLC: OMRON/SIEMENS
8. Контроллер температуры горизонтальной печи химического осаждения:SHIMADEN/EUROTHERM
9. Термопара:C тип/ S тип/ K тип/ N тип
10.Регистратор:безбумажный/ бумажный; импортная/китайская марка
11.HMI(интерфейс): аналоговый экран/сенсорный экран/промышленный компьютер
12.Электрические элементы:CHINT/SCHNEIDER/SIEMENS
13.Тележка:ролик погрузчик/вилочный погрузчик/складная конструкция

Модели и параметры горизонтальной печи для ССЗ

Модели / параметры	HCVD-060609-SIC	HCVD-080812-SIC	HCVD-101015-SIC	HCVD-121225-SIC	HCVD-151530-SIC
Размер рабочей зоны Ш×В×Д (мм)	Φ600 × 600 × 900	Φ800 × 800 × 1200	Φ1000 × 1000 × 1500	Φ1200 × 200 × 2500	Φ1500 × 500 × 3000
Макс. температура(℃)	1500	1500	1500	1500	1500
Однородность температуры (℃)	±7.5	±7.5	±7.5	±10	±10
Предельный вакуум (Па)	50	50	50	50	50
Скорость увеличения давления (Па/ч)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Вышеуказанные характеристики могут изменяться согласно технологическим требованиям заказчика, они не являются стандартами для приема, подробные характеристики будут подтверждены в техническом предложении и контракте.