Горизонтальная печь химического осаждения из газовой фазы (CVD/ХГО для осаждения С)

Назначение

Печь химического осаждения из газовой фазы (осаждение углерода) предназначена для изотермической обработки CVD / CVI на поверхности углеродных материалов или их подложки методом углеводородного газа (например, С3Н8 и др.) в качестве источника углерода.

Технические особенности вакуумных лабораторных печей

1. Размер рабочей зоны печи может достигать 2,5 м × 2,5 м × 5 м,она позволяет CVD обработку больших деталей.
2. Использует несколько отдельных зон контроля температуры, с хорошей однородностью температуры.
3. Имеется особая камера осаждения с высокой герметичностью и защитой от загрязнения.
4. Используются несколько каналов осаждения газа, без застойных зон, с хорошим эффектом осаждения.
5. Печь химического осаждения из газовой фазы имеет функцию удаления смол, золы, пыли, твердых частиц и органичных газов, выделяющихся во время процесса осаждения.

Опции комплектующих

1. Двери печи: ручное запирание/автоматический кольцевой затвор.
2. Корпус печи:полностью углеродистая сталь/внутренняя нержавеющая сталь/полностью нержавеющая сталь
3. Камера вакуумных лабораторных печей:мягкий углеродный войлок/мягкий графитовый войлок/жесткий композитный войлок /CFC
4. Нагреватель, муфель:HIP-прессованный графит/прессованный графит высокой чистоты, высокой прочности и высокой плотности/ графит мелких размеров
5.Пневматическая система:объемный расходомер/масс-расходомер, ручной/автоматический клапан, импортная /китайская марка
6. Вакуумный насос и вакуумметр:импортная/китайская марка
7. HMI: аналоговый экран/сенсорный экран/промышленный компьютер
8. PLC: OMRON/SIEMENS
9. Контроллер температуры печи химического осаждения из газовой фазы: SHIMADEN/EUROTHERM
10.Термопара:C тип/ S тип/ K тип/ N тип
11.Регистратор:безбумажный/ бумажный;импортная/китайская марка
12.Электрические элементы:CHINT/SCHNEIDER/SIEMENS
13.Тележка:ролик погрузчик/вилочный погрузчик/складная конструкция

Модели и параметры вакуумных лабораторных печей

Модели/ параметры	HCVD -060609-C	HCVD -080812-C	HCVD -101015-C	HCVD -121225-C	HCVD -151530-C
Размер рабочей зоны Ш×В×Д (мм)	Φ600 × 600 × 900	Φ800 × 800 × 1200	Φ1000 × 1000 × 1500	Φ1200 × 200 × 2500	Φ1500 × 1500 × 3000
Макс. температура(℃)	1500	1500	1500	1500	1500
Однородность температуры(℃)	±7.5	±7.5	±7.5	±10	±10
Предельный вакуум (Па)	50	50	50	50	50
Скорость увеличения давления(Па/ч)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Данные характеристики могут изменяться согласно технологическим требованиям заказчика, они не являются стандартами для приема, подробные характеристики будут подтверждены в техническом предложении и контракте.