Вертикальная печь химического осаждения из газовой фазы (CVD/ХГО для осаждения С)

Назначение

Печь химического осаждения из газовой фазы (осаждение углерода) предназначена для изотермической обработки CVD / CVI на поверхности углеродных материалов или их подложки углеводородным газом (например, С3Н8 и др.) в качестве источника углерода.

Технические особенности вертикальных вакуумных трубчатых печей

1.Конструкция печи с разным числом зон нагрева, с хорошей однородностью температуры.
2.Имеется особая камера осаждения с высокой герметичностью и защитой от загрязнения.
3.Используются несколько каналов осаждения газа, без застойных зон, с хорошим эффектом осаждения.
4.Имеется функция удаления смол, золы, пыли, твердых частиц и органики, выделяющиеся во время процесса осаждения.

Опции комплектующих печи химического осаждения

1.Двери печи:винтовой подъем /гидравлический подъем/ручной подъем;ручное запирание/автоматический кольцевой затвор.
2.Корпус печи:полностью углеродистая сталь/внутренняя нержавеющая сталь/полностью нержавеющая сталь
3.Камера вертикальных вакуумных трубчатых печей:мягкий углеродный войлок/мягкий графитовый войлок/жесткий композитный войлок /CFC
4.Нагреватель, муфель:HIP-прессованный графит/прессованный графит высокой чистоты, высокой прочности и высокой плотности/ графит мелких размеров
5.Пневматическая система:объемный расходомер/масс-расходомер, ручной/автоматический клапан, импортная/китайская марка
6.Вакуумный насос и вакуумметр:импортная//китайская марка
7.HMI (интерфейс): аналоговый экран/сенсорный экран/промышленный компьютер
8.PLC: OMRON/SIEMENS
9.Контроллер температуры печи химического осаждения:SHIMADEN/ EUROTHERM
10. Термопара: тип C, тип S, тип R, тип B
11.Регистратор:безбумажный/ бумажный, импортная/китайская марка
12.Электрические элементы:CHINT/SCHNEIDER/ SIEMENS

Модели и параметры вертикальных вакуумных трубчатых печей

Модели / параметры	VCVD-0305-C	VCVD-0608-C	VCVD-0812-C	VCVD-1015-C	VCVD-1120-C	VCVD-1520-C	VCVD-2632--C
Размер рабочей зоны Д×В (мм)	Φ300 × 500	Φ600 × 800	Φ800 × 1200	Φ1000 × 1500	Φ1100 × 2000	Φ1500 × 2000	Φ2600 × 3200
Макс. температура(℃)	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Однородность температуры (°C)	±5	±5	±7.5	±7.5	±10	±10	±15
Предельный вакуум (Па)	50	50	50	50	50	50	50
Скорость увеличения давления (Па/ч)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Данные характеристики могут изменяться согласно технологическим требованиям заказчика, они не являются стандартами для приема, подробные характеристики будут подтверждены в техническом предложении и контракте.