Vaaka uunin CVD (CVD / HGO laskeuman SiC)

tapaaminen

 
Vaaka uunin CVD (deposition karborundumi) tarkoitettu syntyminen korrozieustoychivyeh pinnoitteiden pinnalle hiilen aineita tai niiden ominaisuuksien parantamiseksi trihlormonosilanom alustan (MTS) kuin kaasun lähde.

Tekniset ominaisuudet vaakasuoran uunin sydän- ja verisuonitautien

 
1. käyttämällä pisimmällä säätötekniikan. Voit tarkasti valvoa virtausta ja painetta MTS. Feed laskeuma paine on vakaa ja vaihtelee kapealla alueella.
2.Imeetsya erityinen saostuskammiossa korkea eheys ja suoja saastumista vastaan.
3. Käytä useita laskeuma kaasu-kanavat katvealueet, mainiosti sademäärä.
4. vaakasuora CVD-uunissa on tehtävä poistaa syövyttäviä savukaasujen, palavia ja räjähtäviä kaasuja, pölyä ja kiinteät tahmeiden materiaalien sulamispiste on alhainen kerrostamisen aikana prosessissa.
5.With käyttäen uusinta suunnittelun korroosionkestävää tyhjöpumput lisää niiden selviytymiskykyä ja vähentää huoltoon kuluvaa aikaa.

Kokoonpano vaakasuoran uunin sydän- ja verisuonitautien

 
1. Uuni ovet: saranaovi / runko pyörillä, manuaalinen lukitus / automaattinen tiiviste.
2. runko uunin: kaikki hiiliteräs / ruostumaton teräs sisustus / ruostumatonta terästä
3. paistouuniin: Pehmeä hiili huopa / grafiittivillaeriste pehmeä / kova yhdistelmä tuntui / CFC
4. lämmitin muhveliuuniin: HIP-puristettu grafiitti / grafiitti pursotetaan erittäin puhdasta, korkea lujuus ja korkea tiheys / pienissä grafiitti
5.Pnevmaticheskaya järjestelmä: volumetrinen virtausmittari / massavirtausmittarilla, manuaalinen / automaattinen venttiili, tuotu / kiinalainen merkki
6. tyhjöpumppu ja tyhjiössä: tuotu / kiinalainen merkki
7. PLC: OMRON / SIEMENS
8. Controller horisontaalinen uunin CVD lämpötila: SHIMADEN / EUROTHERM
9. Thermocouple: C tyyppi / S type / K tyyppi / N Tyyppi
10.Registrator: paperiton / paperi; tuonti / kiinalainen merkki
11.HMI (interface): analoginen näyttö / kosketusnäyttö / teollisuustietokone
12.Elektricheskie elementit: CHINT / SCHNEIDER / SIEMENS
13.Telezhka: rulla loader / käytetyt / kokoontaitettava

Mallit ja horisontaalinen uunin parametrit CVD

 

vaihtoehtoja mallit	HCVD -060609-C	HCVD -080812-C	HCVD -101015-C	HCVD -121225-C	HCVD -151530-C	HCVD -252035-C	HCVD -252550-C
Koko työalueen L × K × S (mm)	600 × 600 × 900	800 × 800 × 1200	1000 × 1000 × 1500	1200 × 2500 × 200	1500 × 1500 × 3000	2500 × 2000 × 3500	2500 × 2500 × 5000
Kuorma (kg)	300	800	1500	2500	5000	10000	20000
Max. Lämpötila (℃)	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Lämpötilan tasaisuus (℃)	± 7.5	± 7.5	± 7.5	± 10	± 10	± 15	± 15
Lämmitysteho (kW)	210	360	480	600	900	1200	1800
Ultimate tyhjiö (Pa)	20	20	20	20	20	20	20
Kasvuvauhti (Pa / h)	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67
Määrityksiä voivat muuttua mukaan teknologiset asiakkaan vaatimusten mukaan, ne eivät ole standardeja vastaanottoa, yksityiskohtaiset erittelyt vahvistetaan teknisissä ehdotuksessa tai sopimusta.