Four vertical dépôt en phase vapeur chimique (CVD / HGO pour le dépôt de SiC)

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Four tubulaire vertical est un four CVD de dépôt chimique en phase vapeur (dépôt carborundum) destiné à l'apparition de revêtements résistants à la corrosion sur la surface des matériaux carbonés ou d'améliorer la méthode du substrat de leurs propriétés (MTS) en tant que source de gaz.

Caractéristiques techniques des fours verticaux pour CVD

 
contrôle de 1.C en utilisant la technologie la plus avancée, il est possible de contrôler précisément le débit et la pression trihlormonosilana (MTS), le flux de dépôt est stable et la pression varie dans une fourchette étroite.
2.Imeet chambre de dépôt spécial avec une grande intégrité et la protection contre la contamination.
3. Utilisez les canaux de gaz de dépôt multiple sans zones mortes, avec une bonne précipitation d'effet.
4. Le four à tube vertical a une fonction d'élimination des gaz corrosifs CVD fumées, des gaz combustibles et explosifs, la poussière et les matières collantes solides de bas point de fusion au cours du processus de dépôt.
5.With noveyschey en utilisant la conception résistant à la corrosion des pompes à vide, ce qui augmente leurs chances de survie et de réduire le temps de maintenance.

accessoires personnels

 
1. Les portes du four: levage spirale / levage hydraulique / levage manuel, verrouillage manuel / anneau de porte automatique
2. Le corps du four: tous en acier au carbone / acier inoxydable intérieur en acier inoxydable / full
3. Caméra four vertical pour les maladies cardiovasculaires: le carbone doux feutre / feutre de graphite composite souple / dur feutre / CFC
4. Une moufle de chauffage: HIP-pressé graphite / graphite extrudé de haute pureté, de haute résistance et à haute densité / petite taille graphite
système 5.Pnevmaticheskaya: compteur volumétrique de débit / débitmètre massique, vanne manuelle / automatique, importé / marque chinoise
6. La pompe à vide et le vide: Imported / marque chinoise
7. PLC: OMRON / SIEMENS
8. Le régulateur de température est un tube vertical four CVD: SHIMADEN / EUROTHERM
9. Thermocouple: type C / type de type S / K / type N
10.Registrator: sans papier / papier; importé / marque chinoise
11. HMI (interface): écran / écran tactile / ordinateur industriel analogique
12. Composants électriques: CHINT / SCHNEIDER / SIEMENS

Les modèles et paramètres de fours verticaux pour CVD

 

Options Modèles	VCVD-0305-SIC	VCVD-0508- SIC	VCVD-0812- SIC	VCVD-1015- SIC	VCVD-1218- SIC	VCVD-1520- SIC
travail taille de la zone D × H (mm)	Φ300 × 500	Φ500 × 800	Φ800 × 1200	Φ1000 × 1500	Φ1200 × 1800	Φ1500 × 2000
Charge (kg)	50	150	500	1000	2000	3000
Max. Température (℃)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Uniformité de la température (℃)	± 5	± 5	± 7,5	± 7,5	± 10	± 10
Puissance de chauffage (kW)	45	90	180	300	420	540
Vide limite (Pa)	20	20	20	20	20	20
Le taux d'augmentation de la pression (Pa / h)	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67
Les données ci-dessus sont susceptibles d'être modifiées en fonction des besoins technologiques du client, ils ne sont pas les normes pour l'accueil, les spécifications détaillées seront confirmées dans la proposition technique ou d'un contrat.