मॉडल और विकल्पों | एओसी-0304 | एओसी-0406 | एओसी-0810 | एओसी-1012 |
बयान × एच डी चैम्बर आकार (मिमी) | Φ300 × 400 | Φ400 × 600 | Φ800 × 1000 | Φ1000 × 1200 |
मैक्स। बयान चैम्बर में तापमान (℃) | 1,800 | 1,800 | 1,800 | 1,800 |
मैक्स। वाष्पीकरण कक्ष में तापमान (℃) | 1,000 | 1,000 | 1,000 | 1,000 |
तापमान एकरूपता (℃) | ± 3 | ± 5 | ± 7.5 | ± 7.5 |
एक बयान चैम्बर में बिजली हीटिंग (किलोवाट) | 60 | 100 | 250 | 450 |
एक ठंडा ओवन में परम निर्वात (पा) | 10Pa / 5 × 10-3Pa | 10Pa / 5 × 10-3Pa | 10Pa / 5 × 10-3Pa | 10Pa / 5 × 10-3Pa |
दबाव की वृद्धि की दर (पीए / एच) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
ऊपर विनिर्देशों ग्राहक की तकनीकी आवश्यकताओं के अनुसार परिवर्तन के अधीन हैं, वे मानकों के स्वागत के लिए, विस्तृत विनिर्देशों तकनीकी प्रस्ताव या अनुबंध में पुष्टि हो जाएगा नहीं कर रहे हैं। |
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