forno verticale deposizione di vapore chimico (CVD / HGO per la deposizione di SiC)

appuntamento

 
Forno tubolare verticale è un forno CVD (Chemical Vapour Deposition deposizione carborundum) destinate alla nascita di rivestimenti resistenti alla corrosione sulla superficie dei materiali di carbonio, o migliorare le loro proprietà trihlormonosilanom metodo substrato (MTS) come fonte di gas.

Caratteristiche tecniche dei forni verticali per CVD

 
Controllo 1.C utilizzando la tecnologia più avanzata, è possibile controllare con precisione la trihlormonosilana flusso e pressione (MTS), il flusso di deposizione è stabile e la pressione varia in un intervallo ristretto.
2.Imeet speciale camera di deposizione con elevata integrità e la protezione contro la contaminazione.
3. Utilizzare i canali multipla gas deposizione senza zone morte, con buon effetto di precipitazione.
4. Il forno tubo verticale ha una funzione di rimozione dei gas combusti CVD corrosivi, gas combustibili ed esplosivi, polveri e materiali solidi appiccicosi a bassa fusione durante il processo di deposizione.
5.with noveyschey usando il disegno resistente alla corrosione di pompe per vuoto, aumentando la loro capacità di sopravvivenza e riducendo i tempi di manutenzione.

accessori personali

 
1. Le porte del forno: ascensore spirale / sollevamento idraulico / sollevamento manuale, bloccaggio manuale / anello cancello automatico
2. Il corpo del forno: tutto in acciaio inox / acciaio al carbonio interni / acciaio inossidabile pieno
3. Camera forno verticale per le malattie cardiovascolari: al carbonio feltro / grafite feltro morbido composito / hard ritenuto / CFC
4. A muffola di riscaldamento: / piccole dimensioni grafite HIP-premuto grafite / grafite estrusa elevata purezza, ad alta resistenza e ad alta densità
Sistema 5.Pnevmaticheskaya: misuratore di portata volumetrica / misuratore di flusso di massa, manuale / valvola automatica, importati / marchio cinese
6. La pompa del vuoto e il vuoto: Imported / marchio cinese
7. PLC: OMRON / SIEMENS
8. Il regolatore di temperatura è un tubo forno di CVD verticale: SHIMADEN / EUROTHERM
9. termocoppia: C Tipo A / S / tipo K / tipo N
10.Registrator: senza carta / carta; importata / marchio cinese
11. HMI (interfaccia): schermo di / touch screen / computer industriale analogico
12. I componenti elettrici: CHINT / SCHNEIDER / SIEMENS

I modelli ei parametri di forni verticali per CVD

 

Opzioni Models	VCVD-0305-SIC	VCVD-0508- SIC	VCVD-0812- SIC	VCVD-1015- SIC	VCVD-1218- SIC	VCVD-1520- SIC
di lavoro formato zona D × H (mm)	Φ300 × 500	Φ500 × 800	Φ800 × 1200	Φ1000 × 1500	Φ1200 × 1800	Φ1500 × 2000
Carico (kg)	50	150	500	1000	2000	3000
Max. Temperatura (℃)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
uniformità di temperatura (℃)	± 5	± 5	± 7.5	± 7.5	± 10	± 10
Potenza di riscaldamento (kW)	45	90	180	300	420	540
vuoto limite (Pa)	20	20	20	20	20	20
Il tasso di aumento della pressione (Pa / h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
I dati di cui sopra sono soggetti a variazioni in base alle esigenze tecnologiche del cliente, non sono le norme per l'accoglienza, le specifiche dettagliate saranno confermate nella proposta tecnica o di contratto.