Vandret ovn kemisk dampudfældning (CVD / C til udfældning HGO)
Vandret ovn kemisk dampudfældning (CVD / HGO for aflejring af SiC)
Lodret ovn kemisk dampudfældning (CVD / HGO for aflejring af SiC)
Vandret vakuum ovn til forkulning
Lodret vakuum ovn carbonisering
Vandret vakuum ovn pyrolyse
Lodret vakuum ovn pyrolyse
Vandret vakuum ovn grafitisering
Lodret vakuum ovn grafitisering