Lodret ovn kemisk dampudfældning (CVD / HGO for aflejring af SiC)

tid

 
Lodret rørovn er en ovn CVD kemisk dampudfældning (deposition Carborundum) beregnet for fremkomsten af ​​korrosionsbestandigt belægninger på overfladen af ​​carbon materialer, eller forbedre deres egenskaber trihlormonosilanom substrat metode (MTS) som en gas kilde.

Tekniske funktioner af vertikale ovne til CVD

 
1.C styring med den mest avancerede teknologi, er det muligt præcist at styre strømmen og trykket trihlormonosilana (MTS), deposition flux er stabil, og trykket varierer i et snævert interval.
2.Imeet særlige deposition kammer med høj integritet og beskyttelse mod forurening.
3. Brug flere deposition gaskanaler uden døde zoner, med god virkning nedbør.
4. Den lodrette rørovn har en funktion at fjerne CVD ætsende røggasser, brændbare og eksplosive gasser, støv og faste klæbrige materialer, lavtsmeltende under afsætningsprocessen.
5. Med noveyschey hjælp korrosionsbeskyttet udførelse af vakuumpumper, øge deres overlevelsesevne og reducere vedligeholdelse tid.

Personlige tilbehør

 
1. De ovndørene: spiral lift / hydraulisk lift / manuel løft, manuel låsning / automatisk port ring
2. Organet af ovnen: alt kulstof stål / rustfri stål interiør / fuld rustfrit stål
3. Kamera lodret ovn til hjerte-kar-sygdom: mild carbon følte / grafit følte blød / hård komposit følte / CFC
4. En varmelegeme muffel: HIP pressede grafit / grafit ekstruderet høj renhed, høj styrke og høj densitet / lille størrelse grafit
5.Pnevmaticheskaya systemet: volumetrisk flowmåler / masse flow meter, manuel / automatisk ventil, importeres / kinesiske mærke
6. vakuumpumpe og vakuum: Importerede / kinesiske mærke
7. PLC: OMRON / SIEMENS
8. temperaturregulator er et lodret rør ovn CVD: Shimaden / EUROTHERM
9. Termoelement: C type / S type / K type / N Type
10.Registrator: papirløs / papir, importeres / kinesiske mærke
11. HMI (interface): analog skærm / touch screen / industriel computer
12. Elektriske komponenter: CHINT / SCHNEIDER / SIEMENS

Modellerne og parametrene af vertikale ovne til CVD

 

optioner modeller	VCVD-0305-SIC	VCVD-0508- SIC	VCVD-0812- SIC	VCVD-1015- SIC	VCVD-1218- SIC	VCVD-1520- SIC
arbejdsområde størrelse D × H (mm)	Φ300 × 500	Φ500 × 800	Φ800 × 1200	Φ1000 × 1500	Φ1200 × 1800	Φ1500 × 2000
Belastning (kg)	50	150	500	1000	2000	3000
Max. Temperatur (℃)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Temperatur ensartethed (℃)	± 5	± 5	± 7,5	± 7,5	± 10	± 10
Varme (kW)	45	90	180	300	420	540
Ultimate vakuum (Pa)	20	20	20	20	20	20
Stigningstakten for tryk (Pa / h)	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67
De førnævnte data kan ændres i henhold til de teknologiske krav til kundens, de er ikke de standarder for modtagelse, vil detaljerede specifikationer blive bekræftet i det tekniske forslag eller kontrakt.