Modelos y Opciones | AOC-0304 | AOC-0406 | AOC-0810 | AOC-1012 |
deposición tamaño de la cámara D x H (mm) | Φ300 × 400 | Φ400 × 600 | Φ800 × 1000 | Φ1000 × 1200 |
Max. la temperatura en la cámara de depósito (℃) | 1800 | 1800 | 1800 | 1800 |
Max. la temperatura en la cámara de evaporación (℃) | 1000 | 1000 | 1000 | 1000 |
uniformidad de la temperatura (℃) | ± 3 | ± 5 | ± 7,5 | ± 7,5 |
Calentar el poder en una cámara de deposición (KW) | 60 | 100 | 250 | 450 |
El vacío final en el horno frío (Pa) | 10 Pa / 5 × 10-3Pa | 10 Pa / 5 × 10-3Pa | 10 Pa / 5 × 10-3Pa | 10 Pa / 5 × 10-3Pa |
La tasa de aumento de la presión (Pa / h) | 0,5 | 0,5 | 0,5 | 0,5 |
Las especificaciones mencionadas están sujetas a cambios de acuerdo a los requerimientos tecnológicos del cliente, no son las normas para la recepción, las especificaciones detalladas se confirmaron en la propuesta técnica o contrato. |
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