horno vertical deposición química de vapor (CVD / HGO para la deposición de SiC)

cita

 
horno de tubo vertical es un horno de CVD de deposición de vapor química (deposición carborundum) destinadas a la aparición de los recubrimientos resistentes a la corrosión en la superficie de materiales de carbono, o mejorar sus propiedades trihlormonosilanom método de sustrato (MTS) como una fuente de gas.

Características técnicas de los hornos verticales para enfermedades cardiovasculares

 
control de 1.C utilizando la tecnología más avanzada, es posible controlar con precisión el flujo y la presión trihlormonosilana (MTS), el flujo de deposición es estable y la presión varía en un rango estrecho.
2.Imeet cámara de depósito especial con alta integridad y protección contra la contaminación.
3. Utilizar los canales de gas deposición múltiple sin zonas muertas, con buena precipitación efecto.
4. El horno de tubo vertical tiene una función de eliminar CVD gases corrosivos de combustión, gases combustibles y explosivos, polvo y materiales pegajosos sólidos de bajo punto de fusión durante el proceso de deposición.
5.with noveyschey utilizando el diseño resistente a la corrosión de las bombas de vacío, aumentando su capacidad de supervivencia y reducir el tiempo de mantenimiento.

accesorios personales

 
1. Las puertas del horno: ascensor espiral / elevación hidráulica / elevación manual, bloqueo manual / automática de llamada puerta
2. El cuerpo del horno: todo el acero de acero al carbono / acero inoxidable interior / de acero inoxidable completa
3. Cámara horno vertical de enfermedad cardiovascular: el carbono suave fieltro / fieltro de grafito compuesto blando / duro fieltro / CFC
4. Un calentador de mufla: / grafito de tamaño pequeño HIP-presiona grafito / grafito extruido de alta pureza, alta resistencia y alta densidad
sistema de 5.Pnevmaticheskaya: medidor de flujo volumétrico / medidor de flujo másico, válvula manual / automático, marca importada / chino
6. La bomba de vacío y el vacío: Imported / marca china
7. PLC: OMRON / SIEMENS
8. El controlador de temperatura del horno es un tubo vertical de ECV: Shimaden / EUROTHERM
9. Termopar: Tipo C / S Tipo / Tipo K / N Tipo
10.Registrator: sin papel / papel; importada / marca china
11. HMI (Interfaz): la pantalla / pantalla táctil / ordenador industrial analógico
12. Los componentes eléctricos: CHINT / SCHNEIDER / Siemens

Los modelos y parámetros de hornos verticales para enfermedades cardiovasculares

 

Opciones Modelos	VCVD-0305-SIC	VCVD-SIC 0508-	VCVD-SIC 0812-	VCVD-SIC 1015-	VCVD-SIC 1218-	VCVD-SIC 1520-
el tamaño del área de trabajo D x H (mm)	Φ300 × 500	Φ500 × 800	Φ800 × 1200	Φ1000 × 1500	Φ1200 × 1800	Φ1500 × 2000
Carga (kg)	50	150	500	1000	2000	3000
Max. Temperatura (℃)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
uniformidad de la temperatura (℃)	± 5	± 5	± 7,5	± 7,5	± 10	± 10
Potencia de calefacción (kW)	45	90	180	300	420	540
vacío final (Pa)	20	20	20	20	20	20
La tasa de aumento de la presión (Pa / h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Los datos antes mencionados están sujetos a cambios de acuerdo a los requerimientos tecnológicos del cliente, no son las normas para la recepción, las especificaciones detalladas se confirmaron en la propuesta técnica o contrato.