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horno horizontal deposición química de vapor (CVD / HGO para la deposición de SiC)

horno horizontal deposición química de vapor (CVD / HGO para la deposición de SiC)

cita

 
deposición de vapor químico horno horizontal (deposición de carburo de silicio) destinado a la aparición korrozieustoychivyeh recubrimientos sobre la superficie de materiales de carbono, o mejorar sus propiedades trihlormonosilanom sustrato (MTS) como una fuente de gas.

Características técnicas del horno horizontal para las enfermedades cardiovasculares

 
1. Con el uso de la tecnología de control más avanzada. Se puede controlar con precisión el caudal y la presión de la EMP. presión de deposición de alimentación es estable y varía dentro de un rango estrecho.
2.Imeetsya cámara de depósito especial con alta integridad y protección contra la contaminación.
3. Utilizar los canales de gas deposición múltiple sin zonas muertas, con buena precipitación efecto.
4. El horno de deposición de vapor químico horizontal tiene una función de eliminación de los gases corrosivos de combustión, gases combustibles y explosivos, polvo y materiales pegajosos sólidos de bajo punto de fusión durante el proceso de deposición.
5. Con el uso de lo último en diseño de bombas de vacío resistentes a la corrosión, aumentando su capacidad de supervivencia y reducir el tiempo de mantenimiento.

La configuración del horno horizontal para la enfermedad cardiovascular

 
1. Las puertas del horno: la puerta / marco con bisagras en las ruedas, bloqueo manual / automática anillo de sello.
2. El cuerpo del horno: todo el acero de acero al carbono / acero inoxidable interior / de acero inoxidable completa
3. La cámara del horno: el carbono suave fieltro / fieltro de grafito compuesto blando / duro fieltro / CFC
4. Un calentador de mufla: / grafito de tamaño pequeño HIP-presiona grafito / grafito extruido de alta pureza, alta resistencia y alta densidad
sistema de 5.Pnevmaticheskaya: medidor de flujo volumétrico / medidor de flujo másico, válvula manual / automático, marca importada / chino
6. La bomba de vacío y el vacío: Imported / marca china
7. PLC: OMRON / SIEMENS
8. Controlador horno horizontal de vapor químico temperatura de deposición: Shimaden / EUROTHERM
9. Termopar: Tipo C / S Tipo / Tipo K / N Tipo
10.Registrator: sin papel / papel; importación / marca china
11.HMI (interfaz): la pantalla / pantalla táctil / ordenador industrial analógico
12.Elektricheskie elementos: CHINT / SCHNEIDER / Siemens
13.Telezhka: rodillo cargador / montacargas / plegable


Los modelos y parámetros del horno horizontal de ECV

 

Opciones ModelosHCvD -060 609-CHCvD -080 812-CHCvD -101 015-CHCvD -121 225-CHCvD -151 530-CHCvD -252 035-CHCvD -252 550-C
El tamaño de la zona de trabajo W x H x D (mm)600 × 600 × 900800 × 800 × 12001000 × 1000 × 15001200 × 2500 × 2001500 × 1500 × 30002500 × 2000 × 35002500 × 2500 × 5000
Carga (kg)3008001500250050001000020000
Max. Temperatura (℃)1500150015001500150015001500
uniformidad de la temperatura (℃)± 7,5± 7,5± 7,5± 10± 10± 15± 15
Potencia de calefacción (kW)21036048060090012001800
vacío final (Pa)20202020202020
La tasa de aumento de la presión (Pa / h)0.670.670.670.670.670.670.67
Las especificaciones mencionadas están sujetas a cambios de acuerdo a los requerimientos tecnológicos del cliente, no son las normas para la recepción, las especificaciones detalladas se confirmaron en la propuesta técnica o contrato.
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