Horizontal tungku uap kimia deposisi (CVD / C untuk mengendapkan HgO)
Horizontal tungku uap kimia deposisi (CVD / Hgo untuk pengendapan SiC)
tungku vertikal deposisi uap kimia (CVD / Hgo untuk pengendapan SiC)
tungku vakum horisontal untuk karbonisasi
Vertikal vakum tungku karbonisasi
Horisontal vakum tungku pirolisis
Vertikal vakum tungku pirolisis
Horisontal vakum tungku grafitisasi
Vertikal vakum tungku grafitisasi