tungku vertikal deposisi uap kimia (CVD / Hgo untuk pengendapan SiC)

janji

 
Vertikal tabung tungku adalah tungku CVD deposisi uap kimia (pengendapan carborundum) ditujukan untuk munculnya pelapis tahan korosi pada permukaan bahan karbon, atau memperbaiki sifat mereka trihlormonosilanom metode substrat (MTS) sebagai sumber gas.

fitur teknis dari tungku vertikal untuk CVD

 
kontrol 1.C menggunakan teknologi yang paling canggih, adalah mungkin untuk secara tepat mengontrol aliran dan tekanan trihlormonosilana (MTS), fluks deposisi stabil dan tekanan bervariasi dalam kisaran sempit.
2.Imeet ruang deposisi khusus dengan integritas yang tinggi dan perlindungan terhadap kontaminasi.
3. Gunakan beberapa saluran gas deposisi tanpa zona mati, dengan efek yang baik curah hujan.
4. tungku tabung vertikal memiliki fungsi menghilangkan CVD gas korosif buang, gas yang mudah terbakar dan meledak, debu dan bahan lengket solid lebur yang rendah selama proses deposisi.
5.With noveyschey menggunakan desain tahan korosi pompa vakum, meningkatkan survivability dan mengurangi waktu perawatan.

aksesoris pribadi

 
1. Pintu oven: spiral lift / lift hidrolik / lifting manual, penguncian manual / cincin gerbang otomatis
2. Tubuh tungku: semua baja karbon / stainless steel interior / full stainless steel
3. Kamera tungku vertikal untuk penyakit kardiovaskular: karbon ringan merasa / graphite terasa lembut / keras komposit merasa / CFC
4. meredam pemanas: HIP-ditekan grafit / grafit diekstrusi kemurnian tinggi, kekuatan tinggi dan kepadatan tinggi / kecil grafit berukuran
Sistem 5.Pnevmaticheskaya: volumetrik flow meter / meter aliran massa, manual / katup otomatis, impor / merek Cina
6. pompa vakum dan vakum: Impor / merek Cina
7. PLC: OMRON / SIEMENS
8. Suhu controller adalah tabung vertikal tungku CVD: Shimaden / EUROTHERM
9. Thermocouple: C Jenis Jenis / S / K Jenis / N Type
10.Registrator: paperless / kertas; diimpor / merek Cina
11. HMI (antarmuka): analog / layar layar sentuh / industri komputer
12. Listrik komponen: Chint / SCHNEIDER / SIEMENS

Model dan parameter tungku vertikal untuk CVD

 

Pilihan Model	VCVD-0305-SIC	VCVD-0508- SIC	VCVD-0812- SIC	VCVD-1015- SIC	VCVD-1218- SIC	VCVD-1520- SIC
bekerja luas wilayah D × H (mm)	Φ300 × 500	Φ500 × 800	Φ800 × 1200	Φ1000 × 1500	Φ1200 × 1800	Φ1500 × 2000
Beban (kg)	50	150	500	1000	2000	3000
Max. Suhu (℃)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Keseragaman suhu (℃)	± 5	± 5	± 7,5	± 7,5	± 10	± 10
daya pemanas (kW)	45	90	180	300	420	540
Ultimate vakum (Pa)	20	20	20	20	20	20
Tingkat kenaikan tekanan (Pa / h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Data tersebut dapat berubah sesuai dengan kebutuhan teknologi dari pelanggan subjek, mereka tidak standar untuk penerimaan, spesifikasi rinci akan dikonfirmasi dalam proposal teknis atau kontrak.