Piec pozioma chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD / HGO do osadzania SiC)

powołanie

 
Poziomy osadzanie chemiczne z pieca (osadzanie karborund) przeznaczone do powstania korrozieustoychivyeh powłoki na powierzchni materiałów węglowych lub poprawy ich właściwości trihlormonosilanom podłoża (MTS) jako źródło gazu.

Cechy techniczne poziomego pieca do chorób sercowo-naczyniowych

 
1. Z wykorzystaniem najbardziej zaawansowanej technologii sterowania. można precyzyjnie kontrolować przepływ i ciśnienie MTS. Paszy ciśnienie osadzania jest stabilny i zmienia się w wąskim przedziale.
2.Imeetsya specjalną komorę osadzania z wysoką integralność i ochronę przed skażeniem.
3. Za pomocą kanałów stwardnienie gazów osadzanie bez martwych stref, z dobrym skutkiem opadów.
4. Poziomy piec chemicznego osadzania pary posiada funkcję usuwania korozyjnych gazów spalinowych, gazów palnych i wybuchowe, kurz i stałych materiałów klejących o niskiej temperaturze topnienia w trakcie procesu osadzania.
5.With wykorzystaniem najnowszych konstrukcji odpornych na korozję pomp próżniowych, zwiększając ich przeżywalność i zmniejszając czas konserwacji.

Konfiguracja poziomego pieca, choroby układu sercowo-naczyniowego

 
1. Drzwi piekarnika: drzwi skrzydłowe / rama na kółkach, ręczne blokowanie / automatyczne ring.
2. Korpus pieca: wszystkie stali węglowej / stali nierdzewnej wnętrze / full stali nierdzewnej
3. Komora piekarnika: Miękkie węgla czuł / grafit czuł miękki / twardy kompozyt czuł / CFC
4. grzejnika mufy: HIP tłoczony grafit / grafit wytłacza się wysoką czystością, wysoką wytrzymałość i wysoką gęstość / małych rozmiarach grafitowy
System 5.Pnevmaticheskaya: objętościowe przepływomierz / miernik przepływu masy, ręczny / automatyczny zawór, sprowadzony / chińskiej marki
6. Pompa próżniowa i próżniowa: sprowadzony / chińskiej marki
7. PLC OMRON / SIEMENS
8. Sterownik pieca poziome oparów chemicznych temperatura osadzania: Shimaden / EUROTHERM
9. Termopara: typu C typ / S / K Rodzaj / typ N
10.Registrator: bez papieru / papier; import / chińskiej marki
11.HMI (interfejs): analogowy ekran / ekran dotykowy / komputer przemysłowy
12.Elektricheskie elementy: CHINT / SCHNEIDER / Siemens
13.Telezhka: Walce Ładowarka / wózek / składany

Modele i poziome parametry pieca dla CVD

 

Opcje modele	HCVD -060609-C	HCVD -080812-C	HCVD -101015-C	HCVD -121225-C	HCVD -151530-C	HCVD -252035-C	HCVD -252550-C
Wielkość obszaru roboczego W xwxg (mm)	600 x 600 x 900	800 x 800 x 1200	1000 x 1000 x 1500	1200 x 2500 x 200	1500 x 1500 x 3000	2500 x 2000 x 3500	2500 x 2500 x 5000
Obciążenie (kg)	300	800	1500	2500	5000	10000	20000
Max. Temperatura (℃)	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Rozkład temperatury (℃)	± 7.5	± 7.5	± 7.5	± 10	± 10	± 15	± 15
Moc grzewcza (kW)	210	360	480	600	900	1200	1800
Próżnia końcowa (Pa)	20	20	20	20	20	20	20
Tempo wzrostu ciśnienia (Pa / h)	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67
Powyższe specyfikacje mogą ulec zmianie w zależności od wymagań technicznych klienta, nie są normy dotyczące przyjmowania, szczegółowe specyfikacje zostaną potwierdzone w projekcie technicznym lub umowy.