Piec w pionie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD / HGO do osadzania SiC)

powołanie

 
Pionowa rura pieca jest piec CVD chemiczne osadzanie par (osadzanie karborund) przeznaczone do powstania powłok odpornych na korozję na powierzchni materiałów węglowych lub ulepszonego sposobu podłoża ich właściwości trihlormonosilanom (MTS) jako źródło gazu.

Cechy techniczne pionowych pieców do CVD

 
Sterowanie 1.C użyciu najbardziej zaawansowanych technologii, jest możliwe dokładne sterowanie trihlormonosilana przepływu i ciśnienia (MTS), strumień osadzanie jest stabilny, a ciśnienie zmienia się w wąskim przedziale.
2.Imeet specjalną komorę osadzania z wysoką integralność i ochronę przed skażeniem.
3. Za pomocą kanałów stwardnienie gazów osadzanie bez martwych stref, z dobrym skutkiem opadów.
4. pionowy piec rurowy posiada funkcję usuwania CVD korozyjnych gazów spalinowych, gazów palnych i wybuchowe, kurz i stałych materiałów klejących o niskiej temperaturze topnienia w trakcie procesu osadzania.
5.With noveyschey użyciu odpornego na korozję konstrukcji pomp próżniowych, zwiększając ich przeżywalność i zmniejszając czas konserwacji.

akcesoria osobiste

 
1. Drzwi piekarnika: Spirala windy / winda hydrauliczna / ręczne podnoszenie ręczne zamek / automatyczna brama pierścieniowe
2. Korpus pieca: wszystkie stali węglowej / stali nierdzewnej wnętrze / full stali nierdzewnej
3. Aparat pionowy pieca chorób układu krążenia: łagodny węgla czuł / grafit czuł miękki / twardy kompozyt czuł / CFC
4. grzejnika mufy: HIP tłoczony grafit / grafit wytłacza się wysoką czystością, wysoką wytrzymałość i wysoką gęstość / małych rozmiarach grafitowy
System 5.Pnevmaticheskaya: objętościowe przepływomierz / miernik przepływu masy, ręczny / automatyczny zawór, sprowadzony / chińskiej marki
6. Pompa próżniowa i próżniowa: sprowadzony / chińskiej marki
7. PLC OMRON / SIEMENS
8. Regulator temperatury jest pionowa rura pieca CVD: Shimaden / EUROTHERM
9. Termopara: typu C typ / S / K Rodzaj / typ N
10.Registrator: bez papieru / papier; sprowadzony / chińskiej marki
11. HMI (interfejs): analogowy / ekran dotykowy / komputer przemysłowy
12. Elementy elektryczne: CHINT / SCHNEIDER / Siemens

Modele i parametry pionowych pieców do CVD

 

Opcje modele	VCVD-0305-SKI	VCVD SIC-0508-	VCVD SIC-0812-	VCVD SIC-1015-	VCVD SIC-1218-	VCVD SIC-1520-
Obszar pracy rozmiarze D × H (mm)	Φ300 x 500	Φ500 × 800	Φ800 x 1200	Φ1000 x 1500	Φ1200 × 1800	Φ1500 × 2000
Obciążenie (kg)	50	150	500	1000	2000	3000
Max. Temperatura (℃)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Rozkład temperatury (℃)	± 5	± 5	± 7.5	± 7.5	± 10	± 10
Moc grzewcza (kW)	45	90	180	300	420	540
Próżnia końcowa (Pa)	20	20	20	20	20	20
Tempo wzrostu ciśnienia (Pa / h)	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67
Powyższe dane mogą ulec zmianie w zależności od wymagań technicznych klienta, nie są normy dotyczące przyjmowania, szczegółowe specyfikacje zostaną potwierdzone w projekcie technicznym lub umowy.