Modelle und Optionen | AOC-0304 | AOC-0406 | AOC-0810 | AOC-1012 |
Abscheidungskammer Größe D × H (mm) | Φ300 × 400 | Φ400 × 600 | Φ800 × 1000 | Φ1000 × 1200 |
Max. die Temperatur in der Abscheidungskammer (℃) | 1800 | 1800 | 1800 | 1800 |
Max. die Temperatur in der Verdampfungskammer (℃) | 1000 | 1000 | 1000 | 1000 |
Temperaturabweichung (℃) | ± 3 | ± 5 | ± 7.5 | ± 7.5 |
Heizleistung in einer Abscheidungskammer (KW) | 60 | 100 | 250 | 450 |
Das ultimative Vakuum in einem kalten Ofen (Pa) | 10 Pa / 5 × 10-3Pa | 10 Pa / 5 × 10-3Pa | 10 Pa / 5 × 10-3Pa | 10 Pa / 5 × 10-3Pa |
Die Steigerungsrate des Drucks (Pa / h) | 0,5 | 0,5 | 0,5 | 0,5 |
Die oben genannten technischen Daten sind entsprechend ändern, um den technologischen Anforderungen des Kunden, sind sie nicht die Standards für den Empfang, detaillierte Spezifikationen werden in den technischen Vorschlag oder Vertrag bestätigt werden. |
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