Horizontalofen chemical vapor deposition (CVD / HGO für die Abscheidung von SiC)

Termin

 
Horizontalofen chemische Dampfabscheidung (Abscheidung Karborund), die für die Entstehung korrozieustoychivyeh Beschichtungen auf der Oberfläche von Kohlenstoffmaterialien oder zur Verbesserung ihrer Eigenschaften trihlormonosilanom Substrat (MTS) als Gasquelle.

Technische Merkmale des Horizontalofen für kardiovaskuläre Erkrankungen

 
1. Mit der Verwendung der modernsten Steuerungstechnik. Sie können genau die Strömung und den Druck des MTS steuern. Feed-Abscheidungsdruck ist stabil und schwankt in einem engen Bereich.
2.Imeetsya spezielle Beschichtungskammer mit hoher Integrität und Schutz vor Kontamination.
3. Verwenden Sie mehrere Abscheidungsgaskanäle ohne tote Zonen, mit guter Wirkung Niederschläge.
4. Das horizontale chemische Dampfabscheidungsofen hat eine Funktion zum Entfernen von korrosiven Rauchgase, brennbare und explosive Gase, Staub und feste klebrige Materialien mit niedrigem Schmelz während des Abscheidungsprozesses.
5.With die neueste Design aus korrosionsbeständigem Vakuumpumpen verwenden, ihre Überlebensfähigkeit zu erhöhen und die Wartungszeit reduziert wird.

Die Konfiguration des Horizontalofen für kardiovaskuläre Erkrankungen

 
1. Die Ofentüren: Drehtüren / Rahmen auf Rädern, manuelle Verriegelung / Automatik-Ring-Dichtung.
2. Der Körper des Ofens: alle Kohlenstoffstahl / Edelstahl Innen / Volledelstahl
3. Die Ofenkammer: Weiche Kohlenstoff-Filz / Graphit fühlte sich weich / hart Verbund Filz / den CFC
4. Eine Heizung Muffel: HIP-gepresstem Graphit / Graphit extrudiert hohe Reinheit, hohe Festigkeit und eine hohe Dichte / kleiner Größe Graphit
5.Pnevmaticheskaya System: Volumendurchflussmesser / Massendurchflussmesser, manuelle / automatische Ventil, importiert / chinesische Marke
6. Die Vakuumpumpe und Vakuum: Importierte / chinesische Marke
7. PLC: OMRON / SIEMENS
8. Steuerung Horizontalofen chemical vapor deposition Temperatur: Shimaden / EUROTHERM
9. Thermoelement: Typ C / S Typ / K Typ / N-Typ
10.Registrator: papierlos / Papier; Import / chinesische Marke
11.HMI (Schnittstelle): Analog-Display / Touchscreen / Industrie-PC
12.Elektricheskie Elemente: CHINT / SCHNEIDER / SIEMENS
13.Telezhka: Rolllader / Gabelstapler / faltbare

Modelle und horizontale Ofenparameter für CVD

 

Optionen Models	HCVD -060.609-C	HCVD -080.812-C	HCVD -101.015-C	HCVD -121.225-C	HCVD -151.530-C	HCVD -252.035-C	HCVD -252.550-C
Die Größe des Arbeitsbereiches B × H × T (mm)	600 × 600 × 900	800 × 800 × 1200	1000 × 1000 × 1500	1200 × 2500 × 200	1500 × 1500 × 3000	2500 × 2000 × 3500	2500 × 2500 × 5000
Last (kg)	300	800	1500	2500	5000	10000	20000
Max. Temperatur (℃)	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Temperaturabweichung (℃)	± 7.5	± 7.5	± 7.5	± 10	± 10	± 15	± 15
Heizleistung (kW)	210	360	480	600	900	1200	1800
Endvakuumspezifikation (Pa)	20	20	20	20	20	20	20
Die Steigerungsrate des Drucks (Pa / h)	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67
Die oben genannten technischen Daten sind entsprechend ändern, um den technologischen Anforderungen des Kunden, sind sie nicht die Standards für den Empfang, detaillierte Spezifikationen werden in den technischen Vorschlag oder Vertrag bestätigt werden.