Vertikalofen chemical vapor deposition (CVD / HGO für die Abscheidung von SiC)

Termin

 
Vertikalrohrofen ist ein Ofen CVD (chemische Dampfabscheidung Abscheidungs ​​Karborund), die für die Entstehung von korrosionsbeständigen Beschichtungen auf der Oberfläche von Kohlenstoffmaterialien, oder deren Eigenschaften trihlormonosilanom Substrat verbessern Methode (MTS) als Gasquelle.

Technische Merkmale von Vertikalöfen für CVD

 
1.C Steuerung die modernste Technologie verwenden, ist es möglich, den Durchfluss und Druck trihlormonosilana (MTS) genau zu steuern, ist die Abscheidungsfluss stabil und der Druck variiert in einem engen Bereich.
2.Imeet spezielle Beschichtungskammer mit hoher Integrität und Schutz vor Kontamination.
3. Verwenden Sie mehrere Abscheidungsgaskanäle ohne tote Zonen, mit guter Wirkung Niederschläge.
4. Der vertikale Rohrofen hat eine Funktion CVD korrosiven Rauchgasen zu entfernen, brennbare und explosive Gase, Staub und feste klebrige Materialien mit niedrigem Schmelz während des Abscheidungsprozesses.
5.With noveyschey mit korrosionsbeständige Konstruktion von Vakuumpumpen, ihre Überlebensfähigkeit zu erhöhen und die Wartungszeit reduziert wird.

Persönliche Accessoires

 
1. Die Ofentüren: Spirallift / Hebebühne / manuelles Heben, manuelle Verriegelung / automatisches Tor Ring
2. Der Körper des Ofens: alle Kohlenstoffstahl / Edelstahl Innen / Volledelstahl
3. Kamera Vertikalofen für kardiovaskuläre Erkrankungen: mild Kohlenstoff-Filz / Graphit fühlte sich weich / hart Verbund Filz / den CFC
4. Eine Heizung Muffel: HIP-gepresstem Graphit / Graphit extrudiert hohe Reinheit, hohe Festigkeit und eine hohe Dichte / kleiner Größe Graphit
5.Pnevmaticheskaya System: Volumendurchflussmesser / Massendurchflussmesser, manuelle / automatische Ventil, importiert / chinesische Marke
6. Die Vakuumpumpe und Vakuum: Importierte / chinesische Marke
7. PLC: OMRON / SIEMENS
8. Der Temperaturregler ist ein vertikaler Röhrenofen CVD: Shimaden / EUROTHERM
9. Thermoelement: Typ C / S Typ / K Typ / N-Typ
10.Registrator: papierlos / Papier, importiert / chinesische Marke
11. HMI (Schnittstelle): Analog-Display / Touchscreen / Industrie-PC
12. Elektrische Komponenten: CHINT / SCHNEIDER / SIEMENS

Die Modelle und Parameter von vertikalen Öfen für CVD

 

Optionen Models	VCVD-0305-SIC	VCVD-0508- SIC	VCVD-0812- SIC	VCVD-1015- SIC	VCVD-1218- SIC	VCVD-1520- SIC
Arbeitsbereich Größe T × H (mm)	Φ300 × 500	Φ500 × 800	Φ800 × 1200	Φ1000 × 1500	Φ1200 × 1800	Φ1500 × 2000
Last (kg)	50	150	500	1000	2000	3000
Max. Temperatur (℃)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Temperaturabweichung (℃)	± 5	± 5	± 7.5	± 7.5	± 10	± 10
Heizleistung (kW)	45	90	180	300	420	540
Endvakuumspezifikation (Pa)	20	20	20	20	20	20
Die Steigerungsrate des Drucks (Pa / h)	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67
Die genannten Daten unterliegen gemäß den technischen Anforderungen des Kunden zu ändern, sie sind nicht die Normen für den Empfang, detaillierte Spezifikationen werden in den technischen Vorschlag oder Vertrag bestätigt werden.