Horizontale oven chemical vapor deposition (CVD / HGO voor het afzetten van SiC)

afspraak

 
afzetting horizontale oven chemical vapor (deposition carborundum) bestemd voor het ontstaan ​​korrozieustoychivyeh coatings op het oppervlak van koolstof materialen, of hun eigenschappen trihlormonosilanom substraat (MTS) als gasbron verbeteren.

Technische kenmerken van de horizontale oven voor cardiovasculaire ziekte

 
1. Met het gebruik van de meest geavanceerde regeltechniek. U kunt de stroom en de druk van de MTS nauwkeurig te regelen. Feed depositie druk is stabiel en varieert binnen een nauwe bandbreedte.
2.Imeetsya speciale afzetting kamer met een hoge integriteit en bescherming tegen besmetting.
3. Gebruik meerdere depositie gas kanalen zonder dode zones, met een goed effect neerslag.
4. De horizontale chemische dampdepositie oven heeft een functie van het verwijderen van corrosieve rookgassen, brandbare en explosieve gassen, stof en vaste kleverige materialen laagsmeltende tijdens het depositieproces.
5. Met behulp van de nieuwste ontwerpen van corrosiebestendig vacuümpompen, het verhogen van hun overlevingskansen en het verminderen van het onderhoud tijd.

De configuratie van de horizontale oven voor cardiovasculaire ziekte

 
1. De oven deuren: vleugeldeur / frame op wielen, handmatige vergrendeling / automatische ring afdichting.
2. Het lichaam van de oven: alle koolstof staal / RVS interieur / full roestvrij staal
3. De ovenruimte: Soft carbon voelde / grafiet voelde zacht / hard composiet voelde / de CFC
4. heater moffel:-HIP gedrukt grafiet / grafiet geëxtrudeerd hoge zuiverheid, hoge sterkte en hoge dichtheid / klein formaat grafiet
5.Pnevmaticheskaya systeem: volumestroom meter / massa flowmeter, handmatige / automatische klep, geïmporteerde / Chinese merk
6. De vacuümpomp en vacuüm: Geïmporteerde / Chinese merk
7. PLC: OMRON / SIEMENS
8. Controller horizontale oven chemical vapour deposition temperatuur: SHIMADEN / EUROTHERM
9. Thermokoppel: type C / S soort / type K / N-Type
10.Registrator: papierloze / papier; import / Chinese merk
11.HMI (interface): analoog scherm / touch screen / industriële computer
12.Elektricheskie elementen: CHINT / SCHNEIDER / SIEMENS
13.Telezhka: roller loader / heftruck / opvouwbaar

Modellen en horizontale oven parameters voor CVD

 

opties Modellen	HCVD -060.609-C	HCVD -080.812-C	HCVD -101.015-C	HCVD -121.225-C	HCVD -151.530-C	HCVD -252.035-C	HCVD -252.550-C
De omvang van het werkgebied B x H x D (mm)	600 × 600 × 900	800 × 800 × 1200	1000 × 1000 × 1500	1200 × 2500 × 200	1500 × 1500 × 3000	2500 × 2000 × 3500	2500 × 2500 × 5000
Belasting (kg)	300	800	1500	2500	5000	10000	20000
Max. Temperatuur (℃)	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Temperatuur uniformiteit (℃)	± 7.5	± 7.5	± 7.5	± 10	± 10	± 15	± 15
Verwarming (kW)	210	360	480	600	900	1200	1800
Ultimate vacuüm (Pa)	20	20	20	20	20	20	20
De stijging van de druk (Pa / h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
De bovenstaande specificaties zijn onderhevig aan veranderingen op basis van de technologische vereisten van de klant, ze zijn niet de voor de opvang, zal gedetailleerde specificaties in het technische voorstel of het contract worden bevestigd.