Verticale oven chemical vapor deposition (CVD / HGO voor het afzetten van SiC)

afspraak

 
Verticale buisoven is een oven CVD chemische dampafzetting (deposition carborundum) bestemd voor het ontstaan ​​van corrosiebestendige coatings op het oppervlak van koolstof materialen, of hun eigenschappen trihlormonosilanom substraatmethode (MTS) als gasbron verbeteren.

Technische kenmerken van verticale ovens voor CVD

 
1.C controle onder toepassing van geavanceerde technologie, is het mogelijk nauwkeurig regelen van de stroming en druk trihlormonosilana (MTS), de depositieflux stabiel en de druk varieert in een smal gebied.
2.Imeet speciale afzetting kamer met een hoge integriteit en bescherming tegen besmetting.
3. Gebruik meerdere depositie gas kanalen zonder dode zones, met een goed effect neerslag.
4. De verticale buisoven heeft een functie van het verwijderen CVD corrosieve rookgassen, brandbare en explosieve gassen, stof en vaste kleverige materialen laagsmeltende tijdens het depositieproces.
5.with noveyschey gebruik van corrosiebestendig ontwerp van vacuümpompen, het verhogen van hun overlevingskansen en het verminderen van het onderhoud tijd.

persoonlijke accessoires

 
1. De oven deuren: spiraal lift / hydraulische lift / handmatig tillen, handmatige vergrendeling / automatische poort ring
2. Het lichaam van de oven: alle koolstof staal / RVS interieur / full roestvrij staal
3. Camera verticale oven voor hart- en vaatziekten: mild carbon voelde / grafiet voelde zacht / hard composiet voelde / de CFC
4. heater moffel:-HIP gedrukt grafiet / grafiet geëxtrudeerd hoge zuiverheid, hoge sterkte en hoge dichtheid / klein formaat grafiet
5.Pnevmaticheskaya systeem: volumestroom meter / massa flowmeter, handmatige / automatische klep, geïmporteerde / Chinese merk
6. De vacuümpomp en vacuüm: Geïmporteerde / Chinese merk
7. PLC: OMRON / SIEMENS
8. De temperatuur controller is een verticale buisoven CVD: SHIMADEN / EUROTHERM
9. Thermokoppel: type C / S soort / type K / N-Type
10.Registrator: papierloze / papier; geïmporteerd / Chinese merk
11. HMI (interface): analoog scherm / touch screen / industriële computer
12. Elektrische onderdelen: CHINT / SCHNEIDER / SIEMENS

De modellen en parameters verticale ovens voor CVD

 

opties Modellen	VCVD-0305-SIC	VCVD-0508- SIC	VCVD-0812- SIC	VCVD-1015- SIC	VCVD-1218- SIC	VCVD-1520- SIC
werkgebied size D x H (mm)	Φ300 × 500	Φ500 × 800	Φ800 × 1200	Φ1000 × 1500	Φ1200 × 1800	Φ1500 × 2000
Belasting (kg)	50	150	500	1000	2000	3000
Max. Temperatuur (℃)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Temperatuur uniformiteit (℃)	± 5	± 5	± 7.5	± 7.5	± 10	± 10
Verwarming (kW)	45	90	180	300	420	540
Ultimate vacuüm (Pa)	20	20	20	20	20	20
De stijging van de druk (Pa / h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
De hiervoor genoemde data zijn onderhevig aan wijzigingen op basis van de technologische vereisten van de klant, ze zijn niet de voor de opvang, zal gedetailleerde specificaties worden bevestigd in het technische voorstel of contract.