cuptor vertical depunere chimică din vapori (CVD / HGO pentru depunerea SiC)

numire

 
cuptor tubular vertical este un BCV cuptor depunere chimică din vapori (depunere carborund) destinate apariția unor acoperiri rezistente la coroziune pe suprafața materialelor de carbon, sau de a îmbunătăți proprietățile lor trihlormonosilanom metoda substrat (MTS), ca sursă de gaz.

Caracteristici tehnice ale cuptoarelor verticale pentru CVD

 
Controlul 1.C folosind cea mai avansată tehnologie, este posibil să se controleze cu precizie debitul și presiunea trihlormonosilana (MTS), fluxul de depunere este stabilă și presiunea variază într-un interval îngust.
cameră de depunere specială 2.Imeet cu integritate ridicată și de protecție împotriva contaminării.
3. Utilizați mai multe canale de gaze de depunere fără zone moarte, cu efect bun precipitații.
4. Cuptorul tub vertical are o funcție de îndepărtare BCV gaze corozive ardere, gaze combustibile și explozive, pulberi și materiale lipicioase solide de topire scăzut în timpul procesului de depunere.
Noveyschey de proiectare folosind 5. Cu rezistente la coroziune a pompelor de vid, creșterea și reducerea lor de supraviețuire timp de întreținere.

accesorii personale

 
1. Ușile cuptorului: ridicare spirala / ridicare hidraulic / ridicare manuală, manual de blocare / inel automat poarta
2. Corpul cuptorului: toate oțel carbon / oțel inoxidabil / oțel inoxidabil plin interior
3. Aparat foto cuptor vertical pentru boli cardiovasculare: carbon ușoară simțit / grafit simțit compozit moale / dur simțit / CFC
4. Un muflă încălzitor: grafit / grafit extrudat de înaltă puritate, rezistență ridicată și densitate ridicată presate HIP / mici dimensiuni grafit
Sistemul 5.Pnevmaticheskaya: debitul volumetric metru / metru de debit masic, manual / supapă automată, importate / brand chinezesc
6. Pompa de vid și vid: importate / brand din China
7. PLC: OMRON / SIEMENS
8. Regulatorul de temperatură este un tub BCV cuptor vertical: Shimaden / EUROTHERM
9. Termocuplu: C Tip tip / S / Tip K / Tip N
10.Registrator: fără hârtie / hârtie; importate / brand chinezesc
11. HMI (interfață): ecran analogic / touch screen / computer industrial
12. Componente electrice: Chint / SCHNEIDER / SIEMENS

Modelele și parametrii de cuptoare verticale pentru CVD

 

Opțiuni Modele	VCVD-0305-SIC	VCVD-0508- SIC	VCVD-0812- SIC	VCVD-1015- SIC	VCVD-1218- SIC	VCVD-1520- SIC
de lucru dimensiune zona D × H (mm)	Φ300 × 500	Φ500 × 800	Φ800 × 1200	Φ1000 × 1500	Φ1200 × 1800	Φ1500 × 2000
Sarcina (kg)	50	150	500	1000	2000	3000
Max. Temperatura (℃)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
uniformitate a temperaturii (℃)	± 5	± 5	± 7.5	± 7.5	± 10	± 10
Puterea de încălzire (kW)	45	90	180	300	420	540
vid final (Pa)	20	20	20	20	20	20
Rata de creștere a presiunii (Pa / h)	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67
Datele menționate mai sus pot fi modificate în conformitate cu cerințele tehnologice ale clientului, acestea nu sunt standardele pentru primirea, specificații detaliate vor fi confirmate în propunerea tehnică sau contract.