การค้นหาที่เกี่ยวข้อง: CVD เตาแนวท่อ
รายการสินค้า

เตาแนวตั้งไอสารเคมีการสะสม (CVD / HGO สำหรับการสะสมของ SiC) ที่

เตาแนวตั้งไอสารเคมีการสะสม (CVD / HGO สำหรับการสะสมของ SiC) ที่

การแต่งตั้ง

 
เตาแนวท่อเป็นสะสมไอเคมีเตา CVD (ทับถมกากเพชร) มีไว้สำหรับการเกิดขึ้นของการเคลือบป้องกันการกัดกร่อนบนพื้นผิวของวัสดุคาร์บอนหรือปรับปรุงคุณสมบัติของพวกเขา trihlormonosilanom ว​​ิธีพื้นผิว (MTS) เป็นแหล่งก๊าซ

คุณสมบัติทางเทคนิคของเตาเผาแนวตั้งสำหรับซีวีดี

 
ควบคุม 1.C โดยใช้เทคโนโลยีที่ทันสมัย​​ที่สุดก็เป็นไปได้อย่างแม่นยำในการควบคุมการไหลและความดัน trihlormonosilana (MTS), ฟลักซ์ของพยานที่มีเสถียรภาพและความดันแตกต่างกันไปในช่วงแคบ ๆ
2.Imeet ห้องทับถมพิเศษที่มีความสมบูรณ์สูงและป้องกันการปนเปื้อน
3. ใช้ช่องก๊าซทับถมหลาย ๆ เขตตายด้วยการเร่งรัดผลดี
4. เตาแนวท่อที่มีฟังก์ชั่นของการลบ CVD กัดกร่อนจากก๊าซไอเสียก๊าซและการระเบิดฝุ่นละอองและวัสดุเหนียวแข็งของการละลายต่ำในระหว่างขั้นตอนการสะสมได้
5. noveyschey ใช้การออกแบบป้องกันการกัดกร่อนของปั๊มสูญญากาศ, การเพิ่มความอยู่รอดของพวกเขาและช่วยลดเวลาในการบำรุงรักษา

อุปกรณ์ส่วนบุคคล

 
1. ประตูเตาอบ: เกลียวยก / ยกไฮดรอลิ / ยกคู่มือคู่มือล็อค / แหวนประตูอัตโนมัติ
2. ร่างกายของเตา: เหล็กกล้าคาร์บอน / สแตนเลสทั้งหมดภายใน / สแตนเลสแบบเต็มรูปแบบ
3. กล้องเตาแนวตั้งสำหรับโรคหัวใจและหลอดเลือด: คาร์บอนอ่อนรู้สึก / กราไฟท์รู้สึกนุ่ม / คอมโพสิตยากรู้สึกที่ / สาร CFC
4. เผาเครื่องทำความร้อน: Hip กดไฟท์ / กราไฟท์อัดความบริสุทธิ์สูงความแข็งแรงสูงและความหนาแน่นสูง / ขนาดเล็กขนาดกราไฟท์
ระบบ 5.Pnevmaticheskaya: เครื่องวัดปริมาตรการไหล / วัดการไหลของมวลคู่มือ / วาล์วอัตโนมัติที่นำเข้ายี่ห้อ / จีน
6. ปั๊มสุญญากาศและสูญญากาศ: นำเข้า / แบรนด์จีน
7. PLC: OMRON / SIEMENS
8. ควบคุมอุณหภูมิเป็นหลอดแนวตั้งเตา CVD: SHIMADEN / EUROTHERM
9. Thermocouple: ประเภท C / S ประเภท / ชนิด K / พิมพ์ n
10.Registrator: ไร้กระดาษ / กระดาษนำเข้ายี่ห้อ / จีน
11. HMI (Interface): หน้าจออะนาล็อก / หน้าจอสัมผัส / คอมพิวเตอร์อุตสาหกรรม
12. ส่วนประกอบเครื่องใช้ไฟฟ้า: CHINT / SCHNEIDER / SIEMENS

รุ่นและพารามิเตอร์ของเตาเผาแนวตั้งสำหรับซีวีดี

 

ตัวเลือกรุ่นVCVD-0305-SICVCVD-0508- SICVCVD-0812- SICVCVD-1015- SICVCVD-1218- SICVCVD-1520- SIC
ทำงานขนาดพื้นที่ D × H (mm)Φ300× 500Φ500× 800Φ800× 1200Φ1000× 1500Φ1200× 1800Φ1500× 2000
โหลด (กก.)50150500100020003000
แม็กซ์ อุณหภูมิ (℃)150015001500150015001500
ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ (℃)± 5± 5± 7.5± 7.5± 10± 10
พลังงานความร้อน (กิโลวัตต์)4590180300420540
สูญญากาศที่ดีที่สุด (PA)202020202020
อัตราการเพิ่มขึ้นของความดัน (PA / เอช)0.670.670.670.670.670.67
ข้อมูลดังกล่าวอาจมีการเปลี่ยนแปลงตามความต้องการเทคโนโลยีของลูกค้าที่พวกเขาไม่ได้มาตรฐานสำหรับการรับรายละเอียดราย​​ละเอียดจะได้รับการยืนยันในข้อเสนอด้านเทคนิคหรือสัญญา
สินค้าที่เกี่ยวข้อง