Ngang lò lắng đọng hơi hóa học (CVD / C để kết tủa HGO)
lắng đọng hơi dọc lò hóa học (CVD / C để kết tủa HGO)
lò ngang lắng đọng hơi hóa học (CVD / HGO cho sự lắng đọng của SiC)
lò dọc lắng đọng hơi hóa học (CVD / HGO cho sự lắng đọng của SiC)
lò chân không ngang cho cacbon
chân không thẳng đứng lò cacbon
chân ngang lò nhiệt phân
chân không thẳng đứng lò nhiệt phân
chân ngang lò than chì
chân không thẳng đứng lò than chì
