lò dọc lắng đọng hơi hóa học (CVD / HGO cho sự lắng đọng của SiC)

cuộc hẹn

 
lò ống thẳng đứng là một lò CVD hơi hóa chất lắng đọng (lắng đọng carborundum) dành cho sự xuất hiện của lớp phủ chống ăn mòn trên bề mặt của vật liệu cacbon, hoặc cải thiện đặc tính của chúng trihlormonosilanom phương pháp bề mặt (MTS) như một nguồn khí.

Tính năng kỹ thuật của lò dọc cho tim mạch

 
kiểm soát 1.c bằng cách sử dụng công nghệ tiên tiến nhất, nó có thể điều khiển chính xác dòng chảy và áp lực trihlormonosilana (MTS), thông lượng lắng đọng ổn định và áp lực thay đổi trong một phạm vi hẹp.
2.Imeet buồng lắng đọng đặc biệt với tính toàn vẹn cao và bảo vệ chống lại ô nhiễm.
3. Sử dụng các kênh nhiều khí lắng đọng mà không có vùng chết, với lượng mưa hiệu quả tốt.
4. Các lò ống thẳng đứng có chức năng loại bỏ CVD khí ăn mòn ống khói, khí dễ cháy, dễ nổ, bụi và các vật liệu dính rắn nóng chảy thấp trong quá trình lắng đọng.
5.Với noveyschey sử dụng thiết kế chống ăn mòn của máy bơm chân không, tăng khả năng sống sót của họ và giảm thời gian bảo trì.

phụ kiện cá nhân

 
1. Các cửa lò: xoắn ốc thang máy / thang máy thủy lực / bằng tay nâng, tay khóa / vòng cửa tự động
2. Cơ thể của lò: tất cả các thép carbon / thép không gỉ nội thất đầy đủ / thép không gỉ
3. Máy ảnh lò dọc đối với bệnh tim mạch: carbon nhẹ cảm thấy / graphite cảm thấy mềm / composite cứng cảm thấy / CFC
4. Một múp nóng: HIP-ép than chì / chì đùn độ tinh khiết cao, độ bền cao và mật độ cao / nhỏ chì cỡ
hệ thống 5.Pnevmaticheskaya: thể tích đo lưu lượng / mét lưu lượng, nhãn hiệu / van tự động, nhập khẩu / thương hiệu của Trung Quốc
6. Máy bơm chân không và chân không: Nhập khẩu / thương hiệu Trung Quốc
7. PLC: OMRON / SIEMENS
8. Bộ điều khiển nhiệt độ là một ống thẳng đứng lò CVD: SHIMADEN / EUROTHERM
9. Cặp nhiệt: loại C / S loại / K loại / Loại N
10.Registrator: không cần giấy tờ / giấy; nhập khẩu / thương hiệu Trung Quốc
11. HMI (giao diện): tương tự màn hình / màn hình cảm ứng / máy tính công nghiệp
12. thành phần điện: CHINT / Schneider / SIEMENS

Các mô hình và các thông số của lò dọc cho tim mạch

 

lựa chọn mô hình	VCVD-0305-SIC	VCVD-0508- SIC	VCVD-0812- SIC	VCVD-1015- SIC	VCVD-1218- SIC	VCVD-1520- SIC
làm việc kích thước khu vực D × H (mm)	Φ300 × 500	Φ500 × 800	Φ800 × 1200	Φ1000 × 1500	Φ1200 × 1800	Φ1500 × 2000
Tải (kg)	50	150	500	1000	2000	3000
Max. Nhiệt độ (℃)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Nhiệt độ đồng nhất (℃)	± 5	± 5	± 7,5	± 7,5	± 10	± 10
Công suất gia nhiệt (kW)	45	90	180	300	420	540
chân không Ultimate (Pa)	20	20	20	20	20	20
Mức độ gia tăng áp lực (Pa / h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Các dữ liệu nói trên có thể thay đổi theo yêu cầu công nghệ của khách hàng, họ không phải là tiêu chuẩn cho việc tiếp nhận, thông số kỹ thuật chi tiết sẽ được khẳng định trong đề xuất kỹ thuật hoặc hợp đồng.