Ngang lò lắng đọng hơi hóa học (CVD / C để kết tủa HGO)

cuộc hẹn

 
lắng đọng hơi hóa chất lò (lắng đọng carbon) được thiết kế để xử lý đẳng nhiệt vật liệu CVD / CVI carbon trên bề mặt của chất nền hoặc bằng khí hydrocarbon (ví dụ, C3H8, vv) Là một nguồn carbon.

đặc điểm kỹ thuật của lò nung phòng thí nghiệm chân không

 
1. Kích thước của khu vực làm việc của lò có thể đạt 2,5 m × 2,5 m × 5 m, nó cho phép việc xử lý thuế đối kháng của các bộ phận lớn.
2. Sử dụng nhiều khu vực kiểm soát nhiệt độ riêng biệt, có tính đồng bộ nhiệt độ tốt.
3. Có một buồng lắng đọng đặc biệt với tính toàn vẹn cao và bảo vệ chống lại ô nhiễm.
4. Sử dụng các kênh nhiều khí lắng đọng mà không có vùng chết, với lượng mưa hiệu quả tốt.
5. lắng đọng hơi hóa chất lò có chức năng loại bỏ các hắc ín, tro, bụi, các hạt và khí hữu cơ giải phóng ra trong quá trình lắng đọng.

phụ kiện cá nhân

 
1. Các cửa lò: bản lề cửa / khung trên bánh xe, tay khóa / con dấu vòng tự động.
2. Cơ thể của lò: tất cả các thép carbon / thép không gỉ nội thất đầy đủ / thép không gỉ
3. buồng lò chân không phòng thí nghiệm: Soft carbon cảm thấy / graphite cảm thấy mềm / composite cứng cảm thấy / CFC
4. Một múp nóng: HIP-ép than chì / chì đùn độ tinh khiết cao, độ bền cao và mật độ cao / nhỏ chì cỡ
hệ thống 5.Pnevmaticheskaya: thể tích đo lưu lượng / mét lưu lượng, nhãn hiệu / van tự động, nhập khẩu / thương hiệu của Trung Quốc
6. Máy bơm chân không và chân không: Nhập khẩu / thương hiệu Trung Quốc
7. HMI: tương tự màn hình màn hình / cảm ứng / máy tính công nghiệp
8. PLC: OMRON / SIEMENS
9. Bộ điều khiển nhiệt độ lắng đọng hơi hóa chất lò: SHIMADEN / EUROTHERM
10.Termopara: loại C / S loại / K loại / Loại N
11.Registrator: không cần giấy tờ / giấy; nhập khẩu / thương hiệu Trung Quốc
yếu tố 12.Elektricheskie: CHINT / Schneider / SIEMENS
13.Telezhka: con lăn loader / xe nâng / có thể gập lại

Các mô hình và các thông số của lò chân không cho các phòng thí nghiệm

 

lựa chọn mô hình	HCVD -060.609-C	HCVD -080.812-C	HCVD -101.015-C	HCVD -121.225-C	HCVD -151.530-C	HCVD -252.035-C	HCVD -252.550-C
Kích thước của khu vực làm việc W × H × D (mm)	600 × 600 × 900	800 × 800 × 1200	1000 × 1000 × 1500	1200 × 2500 × 200	1500 × 1500 × 3000	2500 × 2000 × 3500	2500 × 2500 × 5000
Tải (kg)	300	800	1500	2500	5000	10000	20000
Max. Nhiệt độ (℃)	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Nhiệt độ đồng nhất (℃)	± 7,5	± 7,5	± 7,5	± 10	± 10	± 15	± 15
Công suất gia nhiệt (kW)	210	360	480	600	900	1200	1600
chân không Ultimate (Pa)	20	20	20	20	20	20	20
Mức độ gia tăng áp lực (Pa / h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Những đặc điểm này có thể thay đổi theo yêu cầu công nghệ của khách hàng, họ không phải là tiêu chuẩn cho việc tiếp nhận, thông số kỹ thuật chi tiết sẽ được xác nhận trong các đề xuất kỹ thuật hoặc hợp đồng.