lò ngang lắng đọng hơi hóa học (CVD / HGO cho sự lắng đọng của SiC)

cuộc hẹn

 
Ngang lắng đọng hơi hóa học lò (lắng đọng carborundum) dành cho sự xuất hiện korrozieustoychivyeh lớp phủ trên bề mặt của vật liệu cacbon, hoặc cải thiện đặc tính của chúng trihlormonosilanom chất nền (MTS) như một nguồn khí.

Tính năng kỹ thuật của lò ngang cho bệnh tim mạch

 
1. Với việc sử dụng công nghệ điều khiển tiên tiến nhất. Bạn chính xác có thể kiểm soát lưu lượng và áp lực của MTS. áp lắng đọng thức ăn ổn định và dao động trong một phạm vi hẹp.
2.Imeetsya buồng lắng đọng đặc biệt với tính toàn vẹn cao và bảo vệ chống lại ô nhiễm.
3. Sử dụng các kênh nhiều khí lắng đọng mà không có vùng chết, với lượng mưa hiệu quả tốt.
4. Lò lắng đọng hơi hóa chất ngang có chức năng loại bỏ các chất khí có tính ăn mòn ống khói, khí dễ cháy, dễ nổ, bụi và các vật liệu dính rắn nóng chảy thấp trong quá trình lắng đọng.
5.Với sử dụng thiết kế mới nhất của máy bơm chân không chống ăn mòn, tăng khả năng sống sót của họ và giảm thời gian bảo trì.

Các cấu hình của lò ngang cho bệnh tim mạch

 
1. Các cửa lò: bản lề cửa / khung trên bánh xe, tay khóa / con dấu vòng tự động.
2. Cơ thể của lò: tất cả các thép carbon / thép không gỉ nội thất đầy đủ / thép không gỉ
3. buồng lò: Soft carbon cảm thấy / graphite cảm thấy mềm / composite cứng cảm thấy / CFC
4. Một múp nóng: HIP-ép than chì / chì đùn độ tinh khiết cao, độ bền cao và mật độ cao / nhỏ chì cỡ
hệ thống 5.Pnevmaticheskaya: thể tích đo lưu lượng / mét lưu lượng, nhãn hiệu / van tự động, nhập khẩu / thương hiệu của Trung Quốc
6. Máy bơm chân không và chân không: Nhập khẩu / thương hiệu Trung Quốc
7. PLC: OMRON / SIEMENS
8. Bộ điều khiển lò hơi hóa chất ngang nhiệt độ lắng đọng: SHIMADEN / EUROTHERM
9. Cặp nhiệt: loại C / S loại / K loại / Loại N
10.Registrator: không cần giấy tờ / giấy; nhập khẩu / thương hiệu Trung Quốc
11.HMI (giao diện): tương tự màn hình màn hình / cảm ứng / máy tính công nghiệp
yếu tố 12.Elektricheskie: CHINT / Schneider / SIEMENS
13.Telezhka: con lăn loader / xe nâng / có thể gập lại

Mô hình và các thông số lò ngang cho tim mạch

 

lựa chọn mô hình	HCVD -060.609-C	HCVD -080.812-C	HCVD -101.015-C	HCVD -121.225-C	HCVD -151.530-C	HCVD -252.035-C	HCVD -252.550-C
Kích thước của khu vực làm việc W × H × D (mm)	600 × 600 × 900	800 × 800 × 1200	1000 × 1000 × 1500	1200 × 2500 × 200	1500 × 1500 × 3000	2500 × 2000 × 3500	2500 × 2500 × 5000
Tải (kg)	300	800	1500	2500	5000	10000	20000
Max. Nhiệt độ (℃)	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Nhiệt độ đồng nhất (℃)	± 7,5	± 7,5	± 7,5	± 10	± 10	± 15	± 15
Công suất gia nhiệt (kW)	210	360	480	600	900	1200	1800
chân không Ultimate (Pa)	20	20	20	20	20	20	20
Mức độ gia tăng áp lực (Pa / h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Các thông số kỹ thuật trên có thể thay đổi theo yêu cầu công nghệ của khách hàng, họ không phải là tiêu chuẩn cho việc tiếp nhận, thông số kỹ thuật chi tiết sẽ được khẳng định trong đề xuất kỹ thuật hoặc hợp đồng.