| Modelos e Opções | AOC-0304 | AOC-0406 | AOC-0810 | AOC-1012 |
| deposição tamanho da câmara D × H (mm) | Φ300 × 400 | Φ400 × 600 | Φ800 × 1000 | Φ1000 × 1200 |
| Max. a temperatura na câmara de deposição (℃) | 1800 | 1800 | 1800 | 1800 |
| Max. a temperatura na câmara de evaporação (℃) | 1000 | 1000 | 1000 | 1000 |
| uniformidade de temperatura (℃) | ± 3 | ± 5 | ± 7,5 | ± 7,5 |
| Aquecimento poder numa câmara de deposição (KW) | 60 | 100 | 250 | 450 |
| O vácuo máximo no forno frio (Pa) | 10Pa / 5 × 10-3Pa | 10Pa / 5 × 10-3Pa | 10Pa / 5 × 10-3Pa | 10Pa / 5 × 10-3Pa |
| A taxa de aumento de pressão (Pa / h) | 0,5 | 0,5 | 0,5 | 0,5 |
| As especificações acima estão sujeitas a alterações de acordo com as exigências tecnológicas do cliente, eles não são as normas para a recepção, especificações detalhadas serão confirmados na proposta técnica ou contrato. | ||||

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