deposição de vapor Vertical forno químico (CVD / C para precipitar HGO)

nomeação

 
deposição de vapor químico Forno (deposição de carbono) é concebido para materiais de carbono tratamento CVD / CVI isotérmicas sobre a superfície do substrato ou gás hidrocarboneto (por exemplo, C3H8, etc.) como fonte de carbono.

características técnicas dos fornos de tubo de vácuo verticais

 
forno 1.Konstruktsiya com diferentes números de zonas de aquecimento, com uma boa uniformidade de temperatura.
2.Imeetsya câmara de deposição especial com alta integridade e proteção contra a contaminação.
3. Utilize canais múltiplos de gás de deposição sem zonas mortas, com boa precipitação efeito.
4.Imeetsya função de remoção de alcatrão, cinzas, poeira, partículas e compostos orgânicos liberados durante o processo de deposição.

Opções partes forno deposição de vapor químico

 
forno 1.Dveri: elevador espiral / elevador hidráulico / elevação manual, fecho manual / anel de vedação automática.
forno 2.Korpus: aço aço de carbono / aço inoxidável completa interior / full inoxidável
3.Kamera vácuo vertical, fornos tubulares: carbono feltro / feltro de grafite macio composta / hard senti / o CFC
4.Nagrevatel, abafar: pequena grafite grafite / grafite extrudados de alta pureza, alta resistência e alta densidade de pressão-HIP / tamanho
sistema 5.Pnevmaticheskaya: contador volumétrico fluxo / medidor de fluxo de massa, / válvula automática manual importada marca / Chinês
bomba 6.Vakuumny e aspiração: // Importado marca chinesa
7.HMI (interface): tela / ecrã touch / computador industrial analógica
8.PLC: OMRON / SIEMENS
9.Kontroller temperatura de vapor químico forno de deposição: SHIMADEN / EUROTHERM
10.Termopara: Tipo C / Tipo S / tipo K / Tipo N
11.Registrator: sem papel / papel, importado marca / Chinês
elementos 12.Elektricheskie: CHINT / SCHNEIDER / Siemens

Esses modelos e parâmetros de fornos de tubo de vácuo verticais

 

Opções Models	VCVD-0305-C	VCVD-0508-C	VCVD-0812-C	VCVD-1015-C	VCVD-1218-C	VCVD-1520-C
trabalhando tamanho da área de D × H (mm)	Φ300 × 500	Φ500 × 800	Φ800 × 1200	Φ1000 × 1500	Φ1200 × 1800	Φ1500 × 2000
Carga (kg)	50	150	500	1000	2000	3000
Max. Temperatura (℃)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
uniformidade de temperatura	± 5	± 5	± 7,5	± 7,5	± 10	± 10
(KW) Capacidade de aquecimento	45	90	180	300	420	540
vácuo (Pa) Final	20	20	20	20	20	20
(Pa / h) A velocidade de aumento de pressão	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67
As especificações acima estão sujeitas a alterações de acordo com as exigências tecnológicas do cliente, eles não são as normas para a recepção, especificações detalhadas serão confirmados na proposta técnica ou contrato.