deposição de vapor químico forno vertical (CVD / HGO para a deposição de SiC)

nomeação

 
forno de tubo vertical é um forno de deposição de vapor químico (CVD deposição carborundo) destina-se a emergência de revestimentos resistentes à corrosão sobre a superfície de materiais de carbono, ou melhorar as suas propriedades trihlormonosilanom método substrato (MTS) como uma fonte de gás.

características técnicas dos fornos verticais para DCV

 
1.C controlo utilizando a tecnologia mais avançada, é possível controlar com precisão o fluxo e pressão trihlormonosilana (MTS), o fluxo de deposição é estável e a pressão varia num intervalo estreito.
2.Imeet câmara de deposição especial com alta integridade e proteção contra a contaminação.
3. Utilize canais múltiplos de gás de deposição sem zonas mortas, com boa precipitação efeito.
4. O forno de tubo vertical tem uma função de remoção de CVD gases corrosivos de combustão, gases inflamáveis ​​e explosivas, poeiras e materiais pegajosos sólidos de baixo ponto de fusão durante o processo de deposição.
5. Com noveyschey usando o design resistente à corrosão de bombas de vácuo, aumentando a sua capacidade de sobrevivência e reduzindo o tempo de manutenção.

acessórios pessoais

 
1. As portas do forno: elevador espiral / elevador hidráulico / elevação manual, travamento manual / anel portão automático
2. O corpo do forno: todo o aço aço de carbono / aço inoxidável aço inoxidável interior / full
3. Câmara forno vertical de doença cardiovascular: carbono leve senti / feltro de grafite macio composta / hard senti / o CFC
4. A mufla de aquecimento: / grafite de pequeno porte grafite / grafite extrudados de alta pureza, alta resistência e alta densidade de pressão-HIP
sistema 5.Pnevmaticheskaya: contador volumétrico fluxo / medidor de fluxo de massa, / válvula automática manual importada marca / Chinês
6. A bomba de vácuo e de vácuo: Imported / marca chinesa
7. PLC: Omron / SIEMENS
8. O controlador de temperatura é um tubo vertical, forno CVD: SHIMADEN / EUROTHERM
9. Termopar: C Tipo Tipo / S / tipo K / Tipo N
10.Registrator: sem papel / papel; importado / marca chinesa
11. IHM (interface): tela / ecrã táctil / computador industrial analógica
12. Os componentes elétricos: CHINT / SCHNEIDER / Siemens

Esses modelos e parâmetros de fornos verticais para DCV

 

Opções Models	VCVD-0305-SIC	VCVD-0508- SIC	VCVD-0812- SIC	VCVD-1015- SIC	VCVD-1218- SIC	VCVD-1520- SIC
trabalhando tamanho da área de D × H (mm)	Φ300 × 500	Φ500 × 800	Φ800 × 1200	Φ1000 × 1500	Φ1200 × 1800	Φ1500 × 2000
Carga (kg)	50	150	500	1000	2000	3000
Max. Temperatura (℃)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
uniformidade de temperatura (℃)	± 5	± 5	± 7,5	± 7,5	± 10	± 10
Potência de aquecimento (kW)	45	90	180	300	420	540
vácuo máximo (Pa)	20	20	20	20	20	20
A taxa de aumento de pressão (Pa / h)	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67
Os dados acima mencionados estão sujeitos a alterações de acordo com as exigências tecnológicas do cliente, eles não são as normas para a recepção, especificações detalhadas serão confirmados na proposta técnica ou contrato.