モデルとオプション | AOC-0304 | AOC-0406 | AOC-0810 | AOC-1012 |
H×堆積チャンバーサイズD(ミリメートル) | 400×Φ300 | 600×Φ400 | 1000年×Φ800 | 1200×Φ1000 |
マックス。堆積チャンバー内の温度(℃) | 1800 | 1800 | 1800 | 1800 |
マックス。蒸発室内の温度(℃) | 1000年 | 1000年 | 1000年 | 1000年 |
温度均一性(℃) | ±3 | ±5 | 7.5± | 7.5± |
堆積チャンバ内の電力を加熱(KW) | 60 | 100 | 250 | 450 |
冷たいオーブンで到達真空度(Pa)で | 10PA / 5×10-3Pa | 10PA / 5×10-3Pa | 10PA / 5×10-3Pa | 10PA / 5×10-3Pa |
圧力の上昇率(PA / H) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
上記の仕様は、彼らが受信のために規定するものではありません、顧客の技術的要件に応じて変更される場合があり、詳細な仕様は、技術提案書や契約書で確認されます。 |
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