モデルとオプション | VVGQ-0608S | VVGQ-0808S | VVGQ-1010 | VVGQ-1212S | VVGQ-1215S | VVGQ-1515S | VVGQ、1520年代 |
作業領域寸法W×H(mm)の | 800×Φ600 | 800×Φ800 | 1000年×Φ1000 | 1200×Φ1200 | 1500×Φ1200 | 1500×Φ1500 | 2000×Φ1500 |
ケージ質量(kg) | 650 | 850 | 1000年 | 1150 | 1300 | 1450 | 1800 |
暖房出力(kW) | 120 | 180 | 270 | 330 | 390 | 420 | 540 |
マックス。温度(℃) | 1150 | 1150 | 1150 | 1150 | 1150 | 1150 | 1150 |
1350 | 1350 | 1350 | 1350 | 1350 | 1350 | 1350 | |
温度均一性(℃) | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 |
真空度(Pa)と | 4×10-1 | 4×10-1 | 4×10-1 | 4×10-1 | 4×10-1 | 4×10-1 | 4×10-1 |
4×10-3 / 6×10-4 | 4×10-3 / 6×10-4 | 4×10-3 / 6×10-4 | 4×10-3 / 6×10-4 | 4×10-3 / 6×10-4 | 4×10-3 / 6×10-4 | 4×10-3 / 6×10-4 | |
圧力上昇の速度(PA / H) | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 |
≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | |
急冷ガスの圧力(バー) | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 |
冷却ガスは、99.995%です | N2 / AR /彼 | N2 / AR /彼 | N2 / AR /彼 | N2 / AR /彼 | N2 / AR /彼 | N2 / AR /彼 | N2 / AR /彼 |