モデルとオプション | VVA-0608S | VVA-0808S | VVA-0810S | VVA-1012S | VVA-1215S | VVA-1515S | VVA-1520年代 |
作業領域寸法W×H(mm)の | 800×Φ600 | 1000年×Φ800 | 1000年×Φ1000 | 1200×Φ1000 | 1500×Φ1200 | 1500×Φ1500 | 2000×Φ1500 |
ケージキログラム重 | 650 | 1000年 | 1150 | 1300 | 1450 | 1800 | |
加熱パワーキロワット | 120 | 180 | 270 | 330 | 390 | 420 | 540 |
マックス。温度℃ | 1150 | 1150 | 1150 | 1150 | 1150 | 1150 | 1150 |
1350 | 1350 | 1350 | 1350 | 1350 | 1350 | 1350 | |
℃温度均一性 | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 |
真空Paの | 4×10-1 | 4×10-1 | 4×10-1 | 4×10-1 | 4×10-1 | 4×10-1 | 4×10-1 |
4×10-3 / 6×10-4 | 4×10-3 / 6×10-4 | 4×10-3 / 6×10-4 | 4×10-3 / 6×10-4 | 4×10-3 / 6×10-4 | 4×10-3 / 6×10-4 | 4×10-3 / 6×10-4 | |
圧Pa / hの増加率 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 |
≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | |
冷却ガスバー | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
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