横型炉化学蒸着（SiCの堆積のためのCVD / HGO）

任命

 
横型炉化学蒸着（蒸着カーボランダム）炭素材料の表面上に出現korrozieustoychivyehコーティングを意図し、またはガス源としてのそれらの特性trihlormonosilanom基板（MTS）を改善します。

心血管疾患のための水平炉の技術的特徴

 
最も先進的な制御技術を用いることで1。あなたは正確にMTSの流れや圧力を制御することができます。フィード堆積圧力は安定しており、狭い範囲内で変化します。
汚染に対する高い整合性と保護機能を備えた2.Imeetsya特殊な堆積チャンバ。
良い効果の降水量とのデッドゾーン、なし3.複数の成膜ガス流路。
4.水平化学蒸着炉は、堆積プロセス中に腐食性煙道ガス、可燃性、爆発性ガス、粉塵及び低融点の固体粘着性の物質を除去する機能を有しています。
、耐食性真空ポンプの最新のデザインを使用して生存率を増加させ、メンテナンス時間を短縮5.With。

心血管疾患のための水平炉の構成

 
1.オーブンドア：車輪の上のヒンジ式ドア/フレーム、手動ロック/自動リングシール。
2.炉の本体：すべての炭素鋼/ステンレス鋼インテリア/フルステンレス鋼
3.オーブン室：ソフトカーボン/グラファイトフェルトは、ハード/ソフトコンポジットは/ CFCフェルト
4.ヒーターマッフルを：HIPプレス黒鉛/黒鉛を高純度、高強度、高密度押出し/小型グラファイト
5.Pnevmaticheskayaシステム：体積流量計/質量流量計、手動/自動弁、インポート/中国ブランド
6.真空ポンプと真空：インポート/中国ブランド
7. PLC：オムロン/ SIEMENS
8.コントローラ水平炉化学蒸着温度：​​シマデン/ EUROTHERM
9.熱電対：Cタイプ/ Sタイプ/ Kタイプ/ Nタイプ
10.Registrator：ペーパーレス/紙;インポート/中国ブランド
11.HMI（インタフェース）：アナログ画面/タッチスクリーン/産業用コンピュータ
12.Elektricheskie要素：CHINT / SCHNEIDER / SIEMENS
13.Telezhka：ローラーローダー/フォークリフト/折り畳み式

モデルとCVD用横型炉パラメータ

 

オプションモデル	HCVD -060609-C	HCVD -080812-C	HCVD -101015-C	HCVD -121225-C	HCVD -151530-C	HCVD -252035-C	HCVD -252550-C
作業領域のサイズW×H×D（ミリメートル）	600×600×900	800×800×1200	×1000×1000 1500	1200×2500×200	1500×1500×3000	2500×2000×3500	2500×2500×5000
負荷量（kg）	300	800	1500	2500	5000	10000	20000
マックス。温度（℃）	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500
温度均一性（℃）	7.5±	7.5±	7.5±	±10	±10	±15	±15
暖房出力（kW）	210	360	480	600	900	1200	1800
到達真空度（Pa）で	20	20	20	20	20	20	20
圧力の上昇率（PA / H）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
上記の仕様は、彼らが受信のために規定するものではありません、顧客の技術的要件に応じて変更される場合があり、詳細な仕様は、技術提案書や契約書で確認されます。