オプションモデル | MHS-020 203 | MHS-030 306 | MHS-040 408 | MHS-050 513 |
作業領域のサイズW×H×D(ミリメートル) | 200×200×300 | 300×300×600 | 400×400×800 | 500×500×1300 |
積載重量(体積を除く)キロ | 25 | 100 | 200 | 400 |
マックス。温度(℃) | 1550 | 1550 | 1550 | 1550 |
温度均一性(℃) | ±3 | ±3 | ±5 | ±5 |
暖房出力(kW) | 50 | 85 | 105 | 240 |
到達真空度(Pa)で | 4×10-3 | 4×10-3 | 4×10-3 | 4×10-3 |
圧力上昇の速度(PA / H) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
作業環境 | AR / N2 / H2 | AR / N2 / H2 | AR / N2 / H2 | AR / N2 / H2 |
これらの図は、顧客の技術的要件に応じて異なる場合があります。彼らは詳細な仕様は、技術提案書や契約書で確認され、受信用の規格ではありません。 |
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