横型炉化学蒸着（HGOを沈殿させるCVD / C）

任命

 
オーブン化学蒸着（炭素の堆積）は、基板の表面上又は炭素源として炭化水素ガス（例えば、C3H8など）によって等温治療CVD / CVI炭素材料のために設計されています。

真空実験室炉の技術的特性

 
1.炉の作業ゾーンの大きさは2.5メートル×5メートル×2.5メートルに達することができ、それは大部分のCVD処理を可能にします。
2.良好な温度均一性と、複数の別々の温度制御ゾーンを使用します。
3.汚染に対する高い整合性と保護機能を備えた特殊な堆積室があります。
良い効果の降水量とのデッドゾーン、なし4.複数の成膜ガス流路。
前記炉化学蒸着はタール、灰、ほこり、粒子および堆積プロセス中に放出された有機ガスを除去する機能を有しています。

パーソナルアクセサリー

 
1.オーブンドア：車輪の上のヒンジ式ドア/フレーム、手動ロック/自動リングシール。
2.炉の本体：すべての炭素鋼/ステンレス鋼インテリア/フルステンレス鋼
3.チャンバーの真空炉の実験室：ソフトカーボンは/グラファイトは、ハード/ソフトコンポジットは/ CFCを感じたフェルト
4.ヒーターマッフルを：HIPプレス黒鉛/黒鉛を高純度、高強度、高密度押出し/小型グラファイト
5.Pnevmaticheskayaシステム：体積流量計/質量流量計、手動/自動弁、インポート/中国ブランド
6.真空ポンプと真空：インポート/中国ブランド
7. HMI：アナログスクリーン/タッチスクリーン/産業用コンピュータ
8. PLC：オムロン/ SIEMENS
前記炉温度化学蒸着のコントローラ：シマデン/ EUROTHERM
10.Termopara：Cタイプ/ Sタイプ/ Kタイプ/ Nタイプ
11.Registrator：ペーパーレス/紙;インポート/中国ブランド
12.Elektricheskie要素：CHINT / SCHNEIDER / SIEMENS
13.Telezhka：ローラーローダー/フォークリフト/折り畳み式

モデルや研究室用真空炉のパラメータ

 

オプションモデル	HCVD -060609-C	HCVD -080812-C	HCVD -101015-C	HCVD -121225-C	HCVD -151530-C	HCVD -252035-C	HCVD -252550-C
作業領域のサイズW×H×D（ミリメートル）	600×600×900	800×800×1200	×1000×1000 1500	1200×2500×200	1500×1500×3000	2500×2000×3500	2500×2500×5000
負荷量（kg）	300	800	1500	2500	5000	10000	20000
マックス。温度（℃）	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500
温度均一性（℃）	7.5±	7.5±	7.5±	±10	±10	±15	±15
暖房出力（kW）	210	360	480	600	900	1200	1600
到達真空度（Pa）で	20	20	20	20	20	20	20
圧力の上昇率（PA / H）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
これらの特性は、詳細な仕様は、技術提案書や契約書で確認され、それらは受信用の規格ではありません、顧客の技術的要件に応じて異なる場合があります。