Dikey fırın kimyasal buhar biriktirme (CVD / HGO SiC depolanması için)

randevu

 
Dikey borulu fırın, bir fırın CVD kimyasal buhar depozisyon karbon malzeme yüzeyi üzerinde korozyona dayanıklı kaplamalar ortaya çıkması için tasarlanmıştır (yerleştirme korindon), ya da bir gaz kaynağı olarak özellikleri trihlormonosilanom alt-tabaka yöntemi (MTS) geliştirmektir.

KVH için dikey fırınların teknik özellikleri

 
en ileri teknoloji kullanılarak 1.C kontrolü, kesin akış ve basınç trihlormonosilana (MTS) kontrol etmek mümkündür, biriktirme fluks stabildir ve basınç dar bir aralıkta değişir.
kirlenmeye karşı yüksek bütünlüğü ve korunması ile 2.Imeet özel biriktirme bölmesi.
İyi bir etki yağışlı ölü bölgeler olmadan 3. çoklu biriktirme gaz kanalları.
4. Dikey tüp fırın biriktirme sürecinde CVD korozif baca gazları yanıcı ve patlayıcı gazlar, toz ve düşük erime katı yapışkan malzemelerin kaldırılması bir işlevi vardır.
5.With noveyschey, vakum pompaları korozyona dayanıklı tasarım kullanarak kendi beka artırılması ve bakım süresini azaltmak.

kişisel aksesuarlar

 
1. Fırın kapıları: spiral kaldırma / hidrolik asansör / manuel kaldırma, manuel kilitleme / otomatik kapı halkası
2. fırının gövdesi: tüm karbon çeliği / paslanmaz çelik iç / tam paslanmaz çelik
kardiyovasküler hastalık için 3. Kamera dikey fırın: hafif karbon / grafit yumuşak / sert kompozit / CFC keçe keçe
4. Bir ısıtıcı kalıp ile: HIP-preslenmiş grafit / grafit yüksek saflıkta, yüksek mukavemet ve yüksek yoğunluklu kalıptan / küçük boyutlu grafit
5.Pnevmaticheskaya sistemi: hacimsel akış ölçer / kütle akış ölçer, manuel / otomatik valf, ithal / Çinli marka
6. Vakum pompası ve vakum: İthal / Çinli marka
7. PLC: OMRON / SIEMENS
8. sıcaklık kontrolörü dikey tüp fırın CVD geçerli: SHIMADEN / EUROTHERM
9. Termokupl: C tipi / S tipi / K tipi / N Tipi
10.Registrator: Kağıtsız / kağıt; ithal / Çinli marka
11. HMI (arayüz): Analog ekran / dokunmatik ekran / endüstriyel bilgisayar
12. Elektrik bileşenleri: CHINT / SCHNEIDER / SIEMENS

modelleri ve CVD için dikey fırın parametreleri

 

seçenekler Modeller	VCVD-0305-SIC	VCVD-0508- SIC	VCVD-0812- SIC	VCVD-1015- SIC	VCVD-1218- SIC	VCVD-1520- SIC
H × alanı boyutu D çalışma (mm)	Φ300 500 ×	Φ500 800 ×	Φ800 1200 ×	Φ1000 1500 ×	Φ1200 1800 ×	Φ1500 2000 ×
Yükü (kg)	50	150	500	1000	2000	3000
Maks. Sıcaklık (℃)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Sıcaklık homojenliği (℃)	± 5	± 5	7.5 ±	7.5 ±	± 10	± 10
Isıtma gücü (kW)	45	90	180	300	420	540
Nihai vakum (Pa)	20	20	20	20	20	20
Basınç artış oranı (pA / h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Söz konusu veriler müşterinin teknolojik ihtiyaçlarına göre değiştirilebilir, bunlar alımı için, detaylı özellikler teknik teklifin veya sözleşmede teyit edilecektir standartlar değildir.