모델 및 옵션 | AOC-0304 | AOC-0406 | AOC-0810 | AOC-1012 |
H × 증착 챔버 크기 D (mm) | Φ300는 400 × | Φ400는 600 × | Φ800는 1000 × | Φ1000는 1200 × |
최대. 증착 챔버 내 온도 (℃) | 1,800 | 1,800 | 1,800 | 1,800 |
최대. 증착 실의 온도 (℃) | 1,000 | 1,000 | 1,000 | 1,000 |
온도 균일 성 (℃) | ± 3 | ± 5 | 7.5 ± | 7.5 ± |
증착 챔버 내에서 가열 전력 (KW) | (60) | (100) | (250) | (450) |
감기 오븐에서 궁극적 인 진공 (PA) | 을 10Pa / 5 × 10-3Pa | 을 10Pa / 5 × 10-3Pa | 을 10Pa / 5 × 10-3Pa | 을 10Pa / 5 × 10-3Pa |
압력 증가 속도 (PA / H) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
상기 사양은 고객의 기술적 요구에 따라 변경 될 수 있으며, 이들은 수신 상세한 사양이 제안 기술 또는 계약 확인한다 기준은 아니다. |
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