모델 및 옵션 | HVOQ-334D | HVOQ-446D | HVOQ-557D | HVOQ-669D | HVOQ-7711D | HVOQ-8812D | HVOQ-9915D |
작업 영역 크기 W × H × D (mm) | 300 × 300 × 400 | 400 × 400 × 600 | 500 × 500 × 700 | 600 × 600 × 900 | × 700 × 1100 (700) | × 800 × 1200 (800) | × 900 × 1500 (900) |
마사는 케이지를 처리 | (75) | (250) | (400) | (600) | 1,000 | 1,200 | 1,500 |
난방 전력 (kW) | (48) | (75) | (90) | (150) | (270) | 360 | 480 |
최대. 온도 (℃) | 1,150 | 1,150 | 1,150 | 1,150 | 1,150 | 1,150 | 1,150 |
1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | |
온도 균일 성 (℃) | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 |
진공 준위 (PA) | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 |
4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | |
압력 상승의 속도 (PA / 시간) | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 |
≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | |
시간 여행 케이지 (S) | ≤12 | ≤15 | ≤20 | ≤25 | ≤35 | ≤35 | ≤40 |
오일 탱크 용량 (L) | (800) | 2,000 | 3500 | 5500 | 9500 | 11000 | 14000 |
(99.995 %) 냉각 가스 | N2 / 아르곤 | N2 / 아르곤 | N2 / 아르곤 | N2 / 아르곤 | N2 / 아르곤 | N2 / 아르곤 | N2 / 아르곤 |
냉각 가스의 압력 (Bar) | (2) | (2) | (2) | (2) | (2) | (2) | (2) |
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