모델 및 옵션 | VVA-0608S | VVA-0808S | VVA-0810S | VVA-1012S | VVA-1215S | VVA-1515S | VVA-1520S |
작업 영역 크기 W × H (mm) | Φ600는 800 × | Φ800는 1000 × | Φ1000는 1000 × | Φ1000는 1200 × | Φ1200는 1500 × | Φ1500는 1500 × | Φ1500는 2000 × |
무게 케이지를 kg | (650) | 1,000 | 1,150 | 1,300 | 1,450 | 1,800 | |
난방 전력 kW 급 | (120) | (180) | (270) | (330) | 390 | (420) | (540) |
최대. 온도 ℃ | 1,150 | 1,150 | 1,150 | 1,150 | 1,150 | 1,150 | 1,150 |
1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | |
℃ 온도 균일 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 |
진공 아빠 | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 |
4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | |
압력 PA / H 증가율 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 |
≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | |
냉각 가스 바 | (2) | (2) | (2) | (2) | (2) | (2) | (2) |
Tag: 수직 튜브로의 CVD