모델 및 옵션 | HVGQ -334D | HVGQ -446D | HVGQ -557D | HVGQ -669D | HVGQ -7711D | HVGQ -8812D | HVGQ -9915D |
작업 영역 크기 W × H × D (mm) | 300 × 300 × 400 | 400 × 400 × 600 | 500 × 500 × 700 | 600 × 600 × 900 | × 700 × 1100 (700) | × 800 × 1200 (800) | × 900 × 1500 (900) |
케이지 무게 (kg) | (75) | (250) | (400) | (600) | 1,000 | 1,200 | 1,500 |
난방 전력 (kW) | (48) | (75) | (90) | (150) | (270) | 360 | 480 |
최대. 온도 (℃) | 1,150 | 1,150 | 1,150 | 1,150 | 1,150 | 1,150 | 1,150 |
1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | |
온도 균일 성 (℃) | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 |
진공 (PA) | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 |
4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | |
압력 상승의 속도 (PA / 시간) | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 |
≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | |
시간 여행 케이지 (S) | ≤12 | ≤15 | ≤20 | ≤25 | ≤30 | ≤30 | ≤35 |
담금질 가스 압력 (바) | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 |
gaz99.995 %를 냉각 | N2 / 아르곤 / 그는 | N2 / 아르곤 / 그는 | N2 / 아르곤 / 그는 | N2 / 아르곤 / 그는 | N2 / 아르곤 / 그는 | N2 / 아르곤 / 그는 | N2 / 아르곤 / 그는 |
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