수직 가마 화학 기상 증착 (CVD / C HGO를 침전)

약속

 
오븐 화학 기상 증착 (탄소 증착) 탄소원으로서 기판이나 탄화수소 가스의 표면 (예를 들어, C3H8 등)를 등온 처리 CVD / CVI 탄소 재료 용으로 설계된다.

수직 진공 튜브 용광로의 기술적 특징

 
우수한 온도 균일 가열 존 상이한 수와 1.Konstruktsiya 노.
오염에 대해 높은 무결성 및 보호 2.Imeetsya 특별한 증착 챔버.
좋은 효과 침전과 데드 존없이 3. 여러 성막 가스 채널.
4.Imeetsya 함수 타르 제거, 화산재, 먼지, 입자 및 유기물 증착 공정 동안 방출.

옵션 부분은 화학 기상 증착 퍼니스

 
1.Dveri 용광로 나선 리프트 / 유압 리프트 / 수동 리프팅, 수동 잠금 / 자동 링 실.
2.Korpus로 : 전체 탄소 강철 / 스테인리스 스틸 내부 / 전체 스테인레스 스틸
3.Kamera 수직 진공 튜브 용광로 : 소프트 탄소 / 흑연 소프트 / 하드 복합체 / CFC을 느꼈다 느꼈다
4.Nagrevatel는 머플 : HIP 누름 흑연 / 흑연 고순도, 고강도 및 고밀도를 압출 / 소형 흑연
5.Pnevmaticheskaya 시스템 : 용적 유량계 / 질량 유량계, 자동 / 수동 밸브, 수입 / 중국어 브랜드
6.Vakuumny 펌프 및 진공 : // 중국 브랜드를 수입
7.HMI (인터페이스) : 아날로그 화면 / 터치 스크린 / 산업용 컴퓨터
8.PLC : OMRON / SIEMENS
9.Kontroller 온도 화학 기상 증착 용광로 SHIMADEN / EUROTHERM
10.Termopara : C 타입 / S 타입 / K 형 / N 형
11.Registrator : 문서화 / 종이, 수입 / 중국어 브랜드
12.Elektricheskie 요소 : CHINT / SCHNEIDER / SIEMENS

모델과 수직 진공 튜브 용광로의 매개 변수

 

옵션 모델	VCVD-0305-C	VCVD-0508-C	VCVD-0812-C	VCVD-1015-C	VCVD-1218-C	VCVD-1520-C
H × 영역 크기 D 작업 (mm)	Φ300는 500 ×	Φ500는 800 ×	Φ800는 1200 ×	Φ1000는 1500 ×	Φ1200는 1800 ×	Φ1500는 2000 ×
하중 (kg)	(50)	(150)	(500)	1,000	2,000	3000
최대. 온도 (℃)	1,500	1,500	1,500	1,500	1,500	1,500
온도 균일	± 5	± 5	7.5 ±	7.5 ±	± 10	± 10
(KW) 난방 용량	(45)	(90)	(180)	(300)	(420)	(540)
(PA) 궁극적 인 진공	(20)	(20)	(20)	(20)	(20)	(20)
(PA / H) 압력 증가 속도	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
상기 사양은 고객의 기술적 요구에 따라 변경 될 수 있으며, 이들은 수신 상세한 사양이 제안 기술 또는 계약 확인한다 기준은 아니다.