모델 및 옵션 | VVGQ-0608S | VVGQ-0808S | VVGQ-1010S | VVGQ-1212S | VVGQ-1215S | VVGQ-1515S | VVGQ-1520S |
작업 영역 크기 W × H (mm) | Φ600는 800 × | Φ800는 800 × | Φ1000는 1000 × | Φ1200는 1200 × | Φ1200는 1500 × | Φ1500는 1500 × | Φ1500는 2000 × |
케이지 무게 (kg) | (650) | 850 | 1,000 | 1,150 | 1,300 | 1,450 | 1,800 |
난방 전력 (kW) | (120) | (180) | (270) | (330) | 390 | (420) | (540) |
최대. 온도 (℃) | 1,150 | 1,150 | 1,150 | 1,150 | 1,150 | 1,150 | 1,150 |
1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | |
온도 균일 성 (℃) | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 |
진공 (PA) | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 |
4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | |
압력 상승의 속도 (PA / 시간) | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 |
≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | |
담금질 가스 압력 (바) | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 |
냉각 가스는 99.995 %로 | N2 / 아르곤 / 그는 | N2 / 아르곤 / 그는 | N2 / 아르곤 / 그는 | N2 / 아르곤 / 그는 | N2 / 아르곤 / 그는 | N2 / 아르곤 / 그는 | N2 / 아르곤 / 그는 |
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