모델 및 옵션 | HVGQ -334S | HVGQ -446S | HVGQ -557S | HVGQ -669S | HVGQ -7711S | HVGQ -8812S | HVGQ -9915S |
작업 영역 크기 W × H × D (mm) | 300 × 300 × 400 | 400 × 400 × 600 | 500 × 500 × 700 | 600 × 600 × 900 | × 700 × 1100 (700) | × 800 × 1200 (800) | × 900 × 1500 (900) |
케이지 무게 (kg) | (75) | (250) | (400) | (600) | 1,000 | 1,200 | 1,500 |
난방 전력 (kW) | (48) | (75) | (90) | (150) | (270) | 360 | 480 |
최대. 온도 (℃) | 1,150 | 1,150 | 1,150 | 1,150 | 1,150 | 1,150 | 1,150 |
1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | |
℃ 온도 균일 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 |
진공 아빠 | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 |
4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | |
압력 PA / H 증가율 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 |
≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | |
바 압력 가스 급냉 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 |
99.995 % 냉각 가스 | N2 / 아르곤 / 그는 | N2 / 아르곤 / 그는 | N2 / 아르곤 / 그는 | N2 / 아르곤 / 그는 | N2 / 아르곤 / 그는 | N2 / 아르곤 / 그는 | N2 / 아르곤 / 그는 |
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