모델 및 옵션 | VVOQ-0812D | VVOQ-1015D | VVOQ-1218D | VVOQ-1520D | VVOQ-1825D |
작업 영역 크기 W × H (mm) | Φ800는 1200 × | Φ1000는 1500 × | Φ1200는 1800 × | Φ1500는 2500 × | Φ1800는 3000 × |
케이지 무게 (kg) | (600) | 1,000 | 1,200 | 2,000 | 2,500 |
난방 전력 (kW) | (240) | (330) | (450) | (570) | (750) |
최대. 온도 (℃) | 1,050 | 1,050 | 1,050 | 1,050 | 1,050 |
1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | |
온도 균일 성 (℃) | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 |
진공 (PA) | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 | 4 × 10-1 |
4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | 4 × 10-3 / 6 × 10-4 | |
압력 상승의 속도 (PA / 시간) | ≤0.26 ≤0.65 | ≤0.26 ≤0.65 | ≤0.26 ≤0.65 | ≤0.26 ≤0.65 | ≤0.26 ≤0.65 |
시간 여행 케이지 (S) | ≤20 | ≤36 | ≤45 | ≤60 | ≤72 |
오일 탱크 용량 (L) | 5000 | 98000 | 11000 | 180000 | 240000 |
냉각 가스는 99.995 %로 | N2 / 아르곤 | N2 / 아르곤 | N2 / 아르곤 | N2 / 아르곤 | N2 / 아르곤 |
냉각 가스의 압력 (Bar) | (2) | (2) | (2) | (2) | (2) |
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