가로로 화학 기상 증착 (CVD / HGO의 SiC 증착)

약속

 
가로로 화학 기상 증착 (증착 카보 런덤)는 탄소 재료의 표면에 출현 korrozieustoychivyeh위한 코팅 또는 가스 공급원으로서의 특성 trihlormonosilanom 기판 (MTS)을 향상시킨다.

심혈관 질환 가로로의 기술적 특징

 
첨단 제어 기술의 사용과 1. 넌 정확하게 MTS의 유동 및 압력을 제어 할 수있다. 피드 증착 압력은 안정하고, 좁은 범위 내에서 변화한다.
오염에 대해 높은 무결성 및 보호 2.Imeetsya 특별한 증착 챔버.
좋은 효과 침전과 데드 존없이 3. 여러 성막 가스 채널.
4. 수평 화학 증착로 증착 프로세스 동안 부식성 연도 가스 및 가연성 가스, 폭발성 가스, 먼지, 저 융점의 고형 점착성 물질을 제거하는 기능을 갖는다.
내식성 진공 펌프의 최신 설계를 사용하여 생존 성을 증가 및 유지 보수 시간을 단축 5.With.

심혈관 질환 수평 노의 구성

 
1. 오븐 문 : 바퀴 힌지 도어 / 프레임, 수동 잠금 / 자동 링 실.
2. 노의 본문 : 모든 탄소강 / 스테인레스 스틸 내부 / 전체 스테인레스 스틸
3. 오븐 챔버 : 소프트 탄소 / 흑연 소프트 / 하드 복합체 / CFC을 느꼈다 느꼈다
4. 히터를 머플 : HIP 누름 흑연 / 흑연 고순도, 고강도 및 고밀도를 압출 / 소형 흑연
5.Pnevmaticheskaya 시스템 : 용적 유량계 / 질량 유량계, 자동 / 수동 밸브, 수입 / 중국어 브랜드
6. 진공 펌프 및 진공 : 수입 / 중국어 브랜드
7. PLC : OMRON / SIEMENS
8. 컨트롤러 가로로 화학 증착 온도 SHIMADEN / EUROTHERM
제 열전대 : C 타입 / S 타입 / K 형 / N 형
10.Registrator : 문서화 / 종이; 가져 오기 / 중국어 브랜드
11.HMI (인터페이스) : 아날로그 화면 / 터치 스크린 / 산업용 컴퓨터
12.Elektricheskie 요소 : CHINT / SCHNEIDER / SIEMENS
13.Telezhka : 롤러 로더 / 지게차 / 접이식

모델 및 CVD 수평 노 매개 변수

 

옵션 모델	HCVD -060609-C	HCVD -080812-C	HCVD -101015-C	HCVD -121225-C	HCVD -151530-C	HCVD -252035-C	HCVD -252550-C
작업 영역의 크기는 W × H × D (mm)	600 × 600 × 900	× 800 × 1200 (800)	1000 × 1000 × 1500	1200 × 2500 × 200	1500 × 1500 × 3000	2500 × 2000 × 3500	2500 × 2500 × 5000
하중 (kg)	(300)	(800)	1,500	2,500	5000	10000	20000
최대. 온도 (℃)	1,500	1,500	1,500	1,500	1,500	1,500	1,500
온도 균일 성 (℃)	7.5 ±	7.5 ±	7.5 ±	± 10	± 10	± 15	± 15
난방 전력 (kW)	(210)	360	480	(600)	(900)	1,200	1,800
궁극적 인 진공 (PA)	(20)	(20)	(20)	(20)	(20)	(20)	(20)
압력 증가 속도 (PA / H)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
상기 사양은 고객의 기술적 요구에 따라 변경 될 수 있으며, 이들은 수신 상세한 사양이 제안 기술 또는 계약 확인한다 기준은 아니다.