가로로 화학 기상 증착 (CVD / C가 HGO를 침전)

약속

 
오븐 화학 기상 증착 (탄소 증착) 기판의 표면 상에 또는 탄소원으로서 탄화수소 가스 (예를 들어, C3H8 등) 등온 처리 CVD / CVI 탄소 재료 용으로 설계된다.

진공 실험실 용광로의 기술적 특성

 
2.5 m × 5m, 그것은 상당 부분의 CVD 처리 수 × 1 노의 작업 영역의 크기가 2.5 m에 도달 할 수있다.
2. 양호한 온도 균일 여러 별도의 온도 제어 영역을 사용한다.
3. 오염에 대해 높은 무결성 및 보호 특별한 증착 챔버가있다.
좋은 효과 침전과 데드 존없이 4. 여러 성막 가스 채널.
5. 노 화학 기상 증착은 타르, 화산재, 먼지, 입자 및 증착 공정 동안 방출 유기 가스를 제거하는 기능을 갖는다.

개인 액세서리

 
1. 오븐 문 : 바퀴 힌지 도어 / 프레임, 수동 잠금 / 자동 링 실.
2. 노의 본문 : 모든 탄소강 / 스테인레스 스틸 내부 / 전체 스테인레스 스틸
3. 챔버 진공 용광로 연구소 : 소프트 탄소 / 흑연 소프트 / 하드 복합체 / CFC을 느꼈다 느꼈다
4. 히터를 머플 : HIP 누름 흑연 / 흑연 고순도, 고강도 및 고밀도를 압출 / 소형 흑연
5.Pnevmaticheskaya 시스템 : 용적 유량계 / 질량 유량계, 자동 / 수동 밸브, 수입 / 중국어 브랜드
6. 진공 펌프 및 진공 : 수입 / 중국어 브랜드
7. HMI : 아날로그 화면 / 터치 스크린 / 산업용 컴퓨터
8. PLC : OMRON / SIEMENS
제 노 온도 화학 기상 증착 컨트롤러 : SHIMADEN / EUROTHERM
10.Termopara : C 타입 / S 타입 / K 형 / N 형
11.Registrator : 문서화 / 종이, 수입 / 중국어 브랜드
12.Elektricheskie 요소 : CHINT / SCHNEIDER / SIEMENS
13.Telezhka : 롤러 로더 / 지게차 / 접이식

모델 및 실험 실용 진공 용광로의 매개 변수

 

옵션 모델	HCVD -060609-C	HCVD -080812-C	HCVD -101015-C	HCVD -121225-C	HCVD -151530-C	HCVD -252035-C	HCVD -252550-C
작업 영역의 크기는 W × H × D (mm)	600 × 600 × 900	× 800 × 1200 (800)	1000 × 1000 × 1500	1200 × 2500 × 200	1500 × 1500 × 3000	2500 × 2000 × 3500	2500 × 2500 × 5000
하중 (kg)	(300)	(800)	1,500	2,500	5000	10000	20000
최대. 온도 (℃)	1,500	1,500	1,500	1,500	1,500	1,500	1,500
온도 균일 성 (℃)	7.5 ±	7.5 ±	7.5 ±	± 10	± 10	± 15	± 15
난방 전력 (kW)	(210)	360	480	(600)	(900)	1,200	1,600
궁극적 인 진공 (PA)	(20)	(20)	(20)	(20)	(20)	(20)	(20)
압력 증가 속도 (PA / H)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
이러한 특징은 고객의 기술적 요구 사항에 따라 달라질 수 있으며, 이들은 수신 상세한 사양이 제안 기술 또는 계약 확인한다 기준은 아니다.